氣體質量流量控制器現貨20-30 庫號：M57023  氣體質量流量控制器現貨20-30 庫號：M57023
產品類型 快響應型

流量量程 20slm,30slm,50slm,100slm,150slm,200slm,250slm

產品精度 ±1.5％F.S.

重復精度 ±0.2% FS

線性 ±1％F.S.

響應時間 ≤3sec

工作溫度范圍 (5~45)°C

耐壓 3MPa

密封材料 氟橡膠Viton,氯丁橡膠(耐氨橡膠) Neoprene

輸入輸出信號 (1~5)VDC,(4~20)mA

電源 24V

閥類型 - 無 -

溫度系數 Span: ≤±0.2% F.S./℃,Zero: ≤±0.1% F.S./℃

零點飄移指標 - 無 -

電氣連接 D sub 15 pins Male

工作壓差范圍 (0.05～0.30) MPa（20slm ≤F.S.≤30slm）,(0.10～0.30) MPa（50slm m≤F.S.≤150slm）,(0.15～0.30) MPa（200slm ≤F.S.≤250slm）

漏率 - 無 -

標準接頭形式 VCR1/2”,雙卡套1/2”,雙卡套1/4”(滿量程≤60slm),雙卡套Φ12,雙卡套Φ6(滿量程≤60slm),雙卡套Φ8(滿量程≤200slm),雙卡套Φ10,雙卡套3/8”

表面化學成分 - 無 -

表面粗糙度 - 無 -

抗電磁干擾 - 無 -

重量 2.6Kg