rexroth博世力士樂集成式測量系統

直線位置測量系統確定機器中運動部件的位置，將此信息提供給電機的控制單元，反饋回路實現電驅動的位置控制。測量系統是一臺機器的核心部件，其性能對整臺機器的表現具有重大影響。博世力士樂開發的IMS-A式集成測量系統，與導軌系統*集成（圖1）。系統得電后無需回零即可即時得到位置，同時該產品無需電池。編碼器系統為感應式原理，重復精度 ±0.25µm，刻尺精度3µm/m，測量精度可與光柵尺媲美。圖1(上) 為集成導軌的IMS-A測量系統。讀數頭牢固安裝于滑塊上并與之共同沿導軌運動。圖1 (下) 的爆炸圖中可以看到在導軌上滾道之間的側面上集成有與增量刻尺，并且通過激光焊接金屬密封帶來防止污染和損壞。

rexroth博世力士樂集成式測量系統

對于測量系統中的感應傳感器，在接收線圈中的感應電壓值可通過刻尺上的刻度條獲得。刻度條在刻尺上以1000 µm間距均布（見圖2）。調制深度取決于以恒定速度相對運動的刻度條在磁場回路中的位置，而后產生一個周期為1000 µm近似正弦的振幅曲線。通過兩組相互錯位1/4周期布置的接收線圈，傳感器相對于刻尺的位置和運動方向都得以確定。如圖2所示，將帶有多個接收線圈的平面線圈傳感器沿運動方向分布，可得到正弦和余弦信號。一方面，對線圈組中所有線圈的解析，提高了信號電平和信噪比。另一方面，傳感器在測量方向上的分布方式將單個信號平均處理，進一步改善了信號的質量，從而抑制并幾乎拉平了線圈范圍內的高精度刻度條的局部不規則性。

為了制造尺寸符合要求的傳感器，平面線圈的導體路徑使用特殊的制造工藝來生產，使導體路徑能夠通過結構化形成，并且允許多層組成結構。而為了確保勵磁線圈中具有相同的電流，保證線圈磁通密度的均勻和對稱性，博世力士樂設計了曲折結構形式的電感式傳感器的勵磁繞組（如圖3所示）。在傳感器中的所有區域提供*相同的激勵電流，而不受線路電阻的波動影響。這就保證了所有接收器線圈中有非常均勻的磁場激勵，意味著在線圈組內不會出現不對稱性