Setra GCT-225 系列超高純壓力變送器專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體工藝過程中的超高純氣體輸送系統(tǒng)以及要求超潔凈工作、高吞吐量和超高長期穩(wěn)定性的控制應(yīng)用于高純度氣體輸送系統(tǒng)·半導(dǎo)體過程工具,氣柜

　　GCT-225 系列采用可旋轉(zhuǎn)的外罩結(jié)構(gòu)，用戶可方便地調(diào)節(jié)

用于零點(diǎn)和量程微調(diào)的 12 圈電位計(jì)。標(biāo)準(zhǔn)的旋轉(zhuǎn)外螺紋 /內(nèi)螺紋端面密封壓力接口可滿足半導(dǎo)體行業(yè)的要求。此外，該系列產(chǎn)品還選用多種其他接口類型。 GCT-225系列產(chǎn)品,提供 5VDC、 10VDC 或 4-20mA 三種輸出類型，可使用六英尺多芯電纜及卡口、 D-Sub或 M12x1接頭進(jìn)行電氣連接。

特性

　　■泄露率低

　　■ VCR 接頭

　　■ 易于吹掃的小腔室

　　■ 200PSI/250PSI/3000PS

　　·316 L VIM/VAR 不銹鋼

　　·表面拋光度 7 Ra

　　·VCR 接頭

　　·1×10-9 級別的氨滲漏實(shí)驗(yàn)

　　·堅(jiān)固耐用，*安裝

　　·4-20mA 輸出型獲得不易燃認(rèn)證，適用于潛在危險(xiǎn)區(qū)域

　　·符合 CE 和 RoHS 標(biāo)準(zhǔn)要求

　　應(yīng)用

　　GCT-225 系列壓力變送器采用 Setra磚利的可變電容技

　　術(shù)，配有 VIM/VAR 316L 不銹鋼隔膜和絕緣電極板。絕緣

　　電極板與傳感器本地構(gòu)成可變電容。當(dāng)氣體壓力提升時(shí)，

　　隔膜會變得略圓，使電容減小。傳感器將檢測到電容變化，

　　并將其轉(zhuǎn)換為高精度的線性直流電信號。 Setra*的定

　　制集成電路采用磚利的電荷平衡原理制成，幾乎不受 EMI/

　　RFI 干擾。

　　在制造和裝配完成后， Setra超高純壓力變送器還要接受

　　去離子水沖洗、高純熱氮?dú)獯祾摺⒑娓?、雙層包裝、氮?dú)?/span>

　　充注和密封等處理，蕞后才發(fā)貨。