測量要求
掃描一條線，以基板為基準面測量與涂層的段差即為涂層的厚度

主要特點概覽
1.非接觸式測量，一體化設計
2.適用范圍廣，裝拆方便
3.±0.5到±1μm重復精度保證
4.一線式掃描，速度可達到50mm/s，大大提高檢測速度
5.離線式檢測，厚度數據存儲，形成管理統計/分析基礎數據
6.豐富的報警功能，OK、NG提示，監控測量全過程，管控品質，提高效率

測量結果
涂層厚度約為18μm±1μm

解決現階段測量裝置存在的問題

1.對測量材料有一定要求
2.接觸式測量，對測量材料有損壞
3.測量范圍小，位置不確定，測定困難
4.測量速度慢、精度低，測量誤差大

5.結構復雜，成本高