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FT-351高溫四探針電阻率測試系統詳情介紹
FT-351 high temperature four probe resistivity test system
功能概述：overview
1. 四探針雙電組合測量方法測試方阻和電阻率系統與高溫箱結合
2. 配置高溫四探針測試探針治具
3. PC軟件對數據的處理和測量控制.
4. 量程測試范圍.
應用說明：
半導體材料的電導率對溫度變化測量要求，測控軟件實時繪制出溫度與電阻，電阻率，電導率數據的變化曲線圖譜，及過程數據值的報表分析.
適用行業：Applicable industry:
用于：企業、高等院校、科研部門對導電陶瓷、硅、鍺單晶（棒料、晶片）電阻率、測定硅外延層、擴散層和離子注入層的方塊電阻以及測量導電玻璃（ITO）和其它導電薄膜等新材料方塊電阻、電阻率和電導率數據.
雙電測四探針儀是運用直線四探針雙位測量。設計符合單晶硅物理測試方法
標準并參考美國 A.S.T.M 標準。
型號及參數Models and technical parameters：
規格型號Models | FT-351A | FT-351B | FT-351C |
1.方塊電阻范圍sheet resistance | 10-5～2×105Ω/□ | 10-6～2×105Ω/□ | 10-4～1×107Ω/□ |
2.電阻率范圍resistivity range | 10-6～2×106Ω-cm | 10-7～2×106Ω-cm | 10-5～2×108Ω-cm |
3.測試電流范圍test current range | 0.1μA.μA.0μA，100µA，1mA，10mA，100 mA | 1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA | 10mA ---200pA |
4.電流精度current accuracy | ±0.1%讀數 | ±0.1讀數 | ±2% |
5.電阻精度resistance accuracy | ≤0.3% | ≤0.3% | ≤10% |
PC軟件界面 PC software interface | 顯示：電阻、電阻率、方阻、溫度、單位換算、溫度系數、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、電導率 LCD: resistance.resistivity. sheet resistance. temperature.unit conversion. temperature coefficient. current. voltage. probe shape. probe spacing. thickness | ||
7.測試方式test mode | 雙電測量Double electrical measurement | ||
8.四探針儀工作電源working power | AC 220V±10%.50Hz <30W
| ||
9.誤差errors | ≤3%（標準樣片結果 standard samples） | ≤15% | |
溫度(選購)Highest temperature (choose and buy) | 常溫 Normal temperature -400℃；600℃；800℃；1000℃；1200℃；1400℃；1600℃ | ||
氣氛保護（氣體客戶自備） Atmosphere protection(Gas was provided by customers themselves) | 常用氣體如下：氦(He)、氖(Ne)、氬(Ar)、氪(Kr)、氙(Xe)、氡(Rn)，均為無色、無臭、氣態的單原子分子 The usual gases are: helium (He). neon (Ne). argon (Ar). krypton (Kr). xenon (Xe). and radon (Rn). all in colorless. odorless. gaseous monatomic molecules. | ||
溫度精度 Temperature precision | 沖溫值 Blunt temperature values：≤1-3℃；控溫精度 control precision：±1°C | ||
升溫速度： rate of temperature increase | 常溫開始400℃--800℃需要15分鐘；800℃-1200℃需要30分鐘；1400℃-1600℃需要250分鐘—300分鐘 About 15 minutes at room temperature to 400 ℃. 800 ℃;800 ℃ to 1200 ℃ need 30 minutes;1400 ℃ to 1600 ℃ to 250 minutes. 300 minutes | ||
高溫材料 High temperature material | 采用復合陶瓷纖維材料，具有真空成型，高溫不掉粉的特征Adopt composite ceramic fiber material. have vacuum forming. high temperature not drop powder | ||
PC軟件 PC software | 測試PC軟件一套，USB通訊接口，軟件界面同步顯示、分析、保存和打印數據！One set Special test PC software. USB communication interface. software interface synchronization display. analysis. save and print data! | ||
電極材料 Electrode materials | 鎢電極或鉬電極 Tungsten electrode or molybdenum electrode | ||
探針間距 The probe spacing | 直線型探針，探針中心間距：4mm；樣品要求大于13mm直徑Linear probe. probe center spacing: 4mm;Sample requirements are greater than 13mm diameter | ||
標配外（選購）： Except standard configuration (optional) | 電腦和打印機1套；2.標準電阻1-5個； 1 . One set computer and printer 2.Standard resistance 1 to 5pcs | ||
高溫電源： High temperature power | 供電：400-1200℃ 電源220V，功率4KW；380V;1400℃-1600℃電源380V；功率9KW： Power supply: 400-1200 ℃ power 220 v. 4 kw power;380 v;1400 ℃ to 1600 ℃ power supply380V ; power 9KW | ||
整機示意圖
整機工作原理
方塊電阻測試時電流量程選擇表
方塊電阻（Ω/□） | 電流量程 |
0---1.2 | 100mA |
1---25 | 10 mA |
20---250 | 1 mA |
200---2500 | 100μA |
2000---25000 | 10μA |
20000---250000 | 1μA |
>200000 | 0.1μA |
方阻測試時根據用戶所選擇的電壓測量低壓6V，中壓15V，高壓32V；材料測試的時候一直是6V
四探針測試方法
1.四探針法測試薄層樣品方阻計算和測試原理如下：
直線四探針測試布局如圖8，相鄰針距分別為S1、S2、S3,根據物理基礎和電學原理：
當電流通過1、4探針，2、3探針測試電壓時計算如下：
操作流程及步驟
1.系統連接：將各個部件及控制系統、電源及USB通訊接口接通；
2.調通系統的連接是否正常，可以從PC軟件及電阻率測試儀上的數據變化看出.
3.在高溫箱體上分段設定所需要溫度，當然也可以不分段而設定一個溫度.具體高溫箱體儀表操作請查看《溫度儀表操作手冊》.
4.待樣品通過高溫夾具進入高溫箱體.
5.開啟惰性氣體輸入閥門.
6.溫度實時上升過程中，樣品阻值實時曲線變化.
7.帶溫度達到設定值時，自動停止加熱.
8.測試完畢，關閉高溫電源，帶10-20分鐘后.
9.通過高溫手套，移動夾具上升離開高溫箱體.
10.用鑷子取出樣品.
PC軟件界面圖：
部分客戶案例：
河南大學
鄭州航空航天學院
南京航空航天大學
內蒙古科技大學
西南科技大學
宜賓學院
北京理工大學
優點介紹
1. 精度四探針測試儀匹配
2. 集成系統
3. 溫度達到1600度.
4. PC軟件實時數據處理及分析.
5. 具有保護氣體功能.
服務項目
1.質保：12個月，長期維護.
2.培訓：操作培訓：
電話教學；U盤教學文件；遠程可視溝通；現場教學；說明書教學文件
3.保養和維護：
提供因知保養和維護文件、標識、表格 、保養提醒.
4.驗證文件：
3Q驗證文件、計量證書
5.擴展服務：
延保服務，樣品測試服務，后延服務，儀器租賃服務.
配套方案：
解決各材料狀態
--固態、液態、氣態、顆粒狀 電阻、電阻率、電導率測量
配套選擇方案：
絕緣材料表面和體積電阻率測試儀
FT-302電纜半導電屏蔽層電阻率測試儀
FT-300A系列材料電阻率測試儀
FT-320低阻材料電阻率測試儀
