CCD系列超高真空插板閥是用手動、氣動和電動機為動力，驅動閥板作啟閉動作，實現系統中氣體的截止或導通。適用介質為潔凈空氣及非腐蝕性氣體。
　　它具有結構簡單，通導能力大，開閉時間短，安全可靠，堅固耐用并可自動控制等優點。只有當閥板兩側的壓力≤2.7×103Pa時，才允許開啟閥門。
　　廣泛應用在電子、真空鍍膜、真空爐、冶金、材料、化工、醫藥以及食品等領域。
 

 作為通徑小于250毫米的閉路閥門，被廣泛采用的的閥桿作直線運動的真空波紋管截止閥。閘閥卻受到較大的限制，但這主要是對于大通徑來說的。可用的還有球 形旋塞閥（球閥）、柱塞閥和蝶閥。作真空閥用的旋塞閥未得到推廣，因為旋塞閥需要用油潤滑，使油汽可能進入真空系統，而這是不允許的。真空閥門既可用現場 手控和遙控，也可用電動、電磁傳動（電磁閥）、氣動和液動控制。
 　真空閥門關閉件是用像膠密封圈或金屬密封圈來密封的。波紋管截止閥的波紋管是用不銹鋼、高鋅黃銅JI80、塑料和其他材料制成。小通徑（口徑在10毫米以下）的截止閥關閉件可采用膜片密封。低真空和中真空可以采用球形旋塞閥。
真空閥門在真空系統中的作用
開關氣路，當閥1和閥4關閉，閥2打開時，三科閥門機械真空泵Ⅲ對容器I抽真空，氣流流經預真空抽氣管路；當閥2關閉，閥4打開時，機械泵可單獨對擴散泵抽真空；當閥1和閥4同時打開時，擴散泵和機械泵可同時工作，對容器進行抽空，此時氣流流經擴散泵。可見，閥門在這種操作中的作用是開關氣路，改變氣流的流經路線。 　　
2.控制氣流大小，調節真空度在圖1中，調節閥1的閥蓋開啟角度，即可調節流經管路的氣流量大小；關閉閥2和閥4，通過放氣閥3可以給機械泵Ⅲ的入口放成大氣；通過放氣閥5可以調節容器內的真空度。 　　
3.定量充氣，三科閥門在玻璃閥的柱塞上有個一定體積的小洞，當小洞轉向右邊和高壓氣瓶連通時，小洞中就可充滿高壓氣體；當它轉向左邊和真空容器連通時，就把該體積的高壓氣體放進容器中去，這樣就起到了定量充氣的作用。
 　真空閥門的種類繁多，通常按閥門的職能、結構型式、驅動方式、材料和用途進行分類。

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