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硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號GC-9560-HG
  • 所  在  地
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2022/12/5 11:54:52
  • 訪問次數(shù)211
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上海華愛色譜分析技術(shù)有限公司系氣體標(biāo)準化技術(shù)委員會委員,氣體標(biāo)準化試驗研究與驗證-色譜平臺,半導(dǎo)體設(shè)備和材料標(biāo)準化技術(shù)委員會氣體分技術(shù)委員會委員,中國工業(yè)氣體協(xié)會理事單位,中國工業(yè)氣體協(xié)會氣體分析技術(shù)及儀器設(shè)備專業(yè)委員會副主任委員單位,公司致力于工業(yè)氣體和電力系統(tǒng)兩大領(lǐng)域的專用色譜儀的研發(fā)和生產(chǎn),為國內(nèi)的專用色譜制造商。華愛色譜自2004年成立以來,先后參與了近百項《國家標(biāo)準》和1項《企業(yè)標(biāo)準》的制修訂工作,截止2020年9月已有51項正式頒布實施;在氣相色譜生產(chǎn)和應(yīng)用領(lǐng)域,華愛色譜擁有數(shù)十項技術(shù),先后承擔(dān)過國家創(chuàng)新基金、重點新產(chǎn)品計劃、火炬計劃、成果轉(zhuǎn)化等多項國家和上海市的科技項目, 座落于黃浦江畔的生產(chǎn)車間,具備完善的管理制度和*的生產(chǎn)環(huán)境,2008年通過ISO9001國際質(zhì)量管理體系認證;擁有GC-9560系列實驗室氣相色譜儀、HA-9660在線式氣相色譜儀、GC-9760便攜式氣相色譜儀三大系列,二十余種產(chǎn)品,可配備FID、TCD、FPD、PDD、PED、ZrO2等各種檢測器。 華愛色譜用于高純氣體和電子工業(yè)用氣中痕量雜質(zhì)檢測的色譜儀設(shè)備,現(xiàn)已廣泛應(yīng)用于Air Liquide(液化空氣)、Linde(林德集團)、Air Products(空氣化工)等國際企業(yè);光明化工研究設(shè)計院、黎明化工研究設(shè)計院、中國計量科學(xué)研究院、中國電科院、大連化學(xué)物理研究所、理化技術(shù)研究所等科研機構(gòu);盈德氣體、蘇州金宏、福建久策、南大光電、佛山華特、中船重工、寶鋼集團、首鋼集團等國內(nèi)企業(yè)。
色譜儀
PDHID對硅烷中氣體雜質(zhì)檢測限(ppb) H2 O2 Ar N2 CO CH4 CO2 C2 C3 SimHn 50 50 50 50 20 20 20 20 50
硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀 產(chǎn)品信息
  • 產(chǎn)品描述

電子工業(yè)氣體:
高純度硅烷氣體雜質(zhì)組份的檢測
一,GC-9560-HG硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀的應(yīng)用領(lǐng)域:
硅烷在大規(guī)模集成電路(LSI)、超大規(guī)模集成電路(VLSI)和半導(dǎo)體器件制造中,用于氣相外延生長、化學(xué)氣相淀積等工藝(工序)。
1. 外延(生長)混合氣 在半導(dǎo)體工業(yè)中,在仔細選擇的襯底上選用化學(xué)氣相淀積的方法,生長一層或多層的材料所用的氣體叫做外延氣體。常用的硅外延氣體有二氯二氫硅、四氯化硅和硅烷等。主要用于外延硅淀積,多晶硅淀積,氧化硅膜淀積,氮化硅膜淀積,太陽能電池和其他光感受器的非晶硅膜淀積等。外延生長是一種單晶材料淀積并生長在襯底表面上的過程。
2. 化學(xué)氣體淀積(CVD)用混合氣 CVD是利用揮發(fā)性化合物,通過氣相化學(xué)反應(yīng)沉積某種單質(zhì)或化合物的一種方法,即應(yīng)用氣相化學(xué)反應(yīng)的一種成膜的方法。依據(jù)成膜種類,使用的化學(xué)氣相淀積(CVD)氣體也不同。
:硅烷中微量雜質(zhì)的分析一直是色譜分析的難點。
目前多數(shù)采用的熱導(dǎo)檢測器由于靈敏度有限,很難測定5ppm以下的雜質(zhì);火焰離子化檢測器和氧化鋯檢測器是選擇性的檢測器,只能分析少數(shù)幾種氣體雜質(zhì),均不能很好的滿足硅烷氣體分析的基本要求。
PDHID檢測器(脈沖放電氦離子檢測器)是一種靈敏度的通用型檢測器,對幾乎所有無機和有機化合物均有很高的響應(yīng),特別適合*氣體的分析,是*能夠檢測至ng/g(ppb)級的檢測器。

關(guān)鍵詞:氣相色譜 氣體分析
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