設計的滾輪貼膜

自動膠膜進給及貼膜

手動晶圓上下料

自動切割膠膜，省力

藍膜、UV 膠膜可選

PLC+觸摸屏

配置光簾保護功能，和緊急停機按鈕

三色燈塔和蜂鳴器用于操作狀態監控

貼膜品質

沒有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡）

Cycle Time：

≤ 45 秒（不包含上料/下料時 間）

MTBF

>168小時

MTTR

<1小時

停機時間

<3%

更換產品時間：

≤ 10 分鐘

晶圓厚度：

100~750 微米

晶圓種類：

硅,  砷化鎵或其它材料/單平邊,雙平邊,V 型缺口；

膜種類：

藍膜或者 UV 膜

貼膜方法：

滾輪貼膜

晶圓臺盤：

接觸式晶圓臺盤

晶圓臺盤加熱：

可達 120℃ (對應接觸式臺盤，可 選

晶圓放置精度：

X-Y:  +/- 0.5 毫米； Θ  : +/- 0.5°；

裝卸方式：

手動晶圓放置與取出；晶圓在位置檢測；

防靜電控制：

去離子風扇

切割系統：

自動刀

控制單元：

基于 PLC 控制，10.4”觸摸屏

電源電壓：

單相交流電 220V,10A；

壓縮空氣：

60  PSI 清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘 2.5  立方英尺

燈塔：

三色燈塔和蜂鳴器，用于操作狀態監測

安全：

配置安全光簾和緊急停機開關；

體積：

950 毫米(寬)*1300 毫米(深)*1800 毫米(高)

凈重：

300 公斤