產品特點

體積小，操作方便，適用于桌面放置以及滿足上述規格

的晶圓。

晶圓減薄前貼膜性能：晶圓收益≥99.9%

貼膜質量：沒有氣泡(不包括灰塵顆粒氣泡)

每小時產能：≥ 80片晶圓

更換產品時間：5min

規格參數

晶圓尺寸(英寸)： 4" 、 5" 、 6" 、 8" 、 12"

晶圓厚度： 300 - 750μm

晶圓種類：

晶圓材料：硅，砷化鎵或其他

晶圓工藝：單平邊，雙平邊，V型缺口

膠膜種類

膠膜材料：藍膜或UV膜

膠膜規格：長度--100m;

                                          寬度--120 ~ 240mm;

                                          厚度--0.05 ~ 0.2mm;

貼膜原理：防靜電滾輪貼膜

貼膜動作：自動拉膜和貼膜

晶圓臺盤：通用(一體式)特氟龍防靜電涂層接觸式臺盤或硅膠臺盤或陶瓷臺盤

晶圓裝載方式：手動放置與取出。

防靜電控制：防靜電特氟龍涂層晶圓臺盤/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發生器

切割系統

的手動可調整環形切刀適用于不同的晶圓外形

刀頭帶獨立加熱機構無任何飛邊，并省去修邊

的手動直切刀設計，為省膜的設計；

晶圓定位：通用標線/彈簧銷釘

安全防護：配置緊急停機按鈕

電源：AC 220V 10A