
型號 | M80 | M120 | M82 | M112 |
工件尺寸 | 6″&8″ | 12″ | 6″&8″ | 12″ |
晶圓厚度 | 150-800μm | 150-800μm | 150-750μm | 150-750μm |
膜類型 | 藍膜&UV膜 | |||
膜厚度 | 0.05-0.2mm | |||
膜寬度 | 270-330mm | 330-400mm | 270-330mm | 330-400mm |
工作臺 | 防靜電特氟龍處理 | |||
加熱溫度 | 室溫-150℃ | |||
效率 | 80片/小時 | 70片/小時 | 80片/小時 | 70片/小時 |
供氣 | 0.5Mpa潔凈干燥壓縮空氣 | |||
供電 | AC220V,10A | AC220V,10A | AC220V,16A | AC220V,16A |
外形尺寸 W*D*H | 360mm*860mm*560mm | 560mm*1000mm*600mm | 600mm*960mm*500mm | 660mm*1100mm*500mm |
重量 | 50kg | 60kg | 80kg | 110kg |
主要特點:
1、M80&M120
的防靜電滾輪貼膜;
手動拉膜及貼膜;
手動晶圓上下料;
圓周刀彈性結構,割膜力度可調;
結構合理換刀方便;
工作臺浮動設計,高度可調;
離型膜自動纏繞回收;
可根據需求做定制化;
2、M82&M122
的防靜電滾輪貼膜;
防靜電離子風機;
自動膠膜傳送及貼覆;
貼膜壓力及速度均可調;
手動晶圓上下料;
觸摸屏操作面板
基于PLC程序控制;
可根據需求做定制化;