真空用零部件的高溫退火和除氣等
井式爐,上開蓋
溫度2000℃
溫度均勻性±10℃,5點測溫
整機平均工作時間不少于1000小時
觸摸式一體化機實現人機交互,遠程數據采集
型式:井式上開門
溫度:2000℃
極限真空度:≤5×10-5 Pa(冷態)
工作真空度:≤5×10-4 Pa(熱態)
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井式爐,上開蓋
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