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◆ Schottky肖特基場發(fā)射電子槍亮度高、單色性好、電子束斑小，壽命長
◆ 采用電子束加速鏡筒，確保低壓下成像性能
◆ 束流穩(wěn)定度高、色散小，適宜于長時(shí)間的各種分析，如BSE、EDS、EBSD
◆ 低加速電壓不導(dǎo)電樣品可以直接觀測，無需噴金
◆ 操作簡便，僅用鼠標(biāo)即可完成所有的電鏡操作
◆ 超大樣品倉室，滿足不同客戶的觀測需求
項(xiàng)目 | KYKY-EM8100F性能參數(shù) | ||
分辨率 | 1nm@30kV(SE) 3nm@1kV(SE) 2.5nm@30kV(BSE) | ||
放大倍數(shù) | 15X～800000X | ||
電子槍類型 | 肖特基場發(fā)射電子槍 | ||
加速電壓 | 0~30kV | ||
自動(dòng)調(diào)整功能 | 聚焦、亮度/對比度、消像散、電子束對中等 | ||
真空系統(tǒng) | 2個(gè)離子泵，1個(gè)渦輪分子泵、1個(gè)機(jī)械泵、1個(gè)吸氣劑泵 | ||
探測器 | 高真空二次電子探測器（具備保護(hù)探測器探頭不被碰撞的功能） | ||
樣品臺 | 五軸自動(dòng)臺 | 五軸自動(dòng)臺（大樣品臺） | |
行程 | X | 0 ~ 80mm | 0 ~ 150mm |
Y | 0 ~ 50mm | 0 ~ 150mm | |
Z | 0 ~ 30mm | 0 ~ 60mm | |
R | 360° | 360° | |
T | -5° ~ 70° | -5° ~ 75° | |
樣品直徑 | 175mm | 340mm | |
選配探測器 | CCD 背散射電子探測器，X-ray能譜儀 EBL 高低溫臺納米操作臺拉伸臺 | ||
多樣化的電鏡應(yīng)用定制方案
1. 高低溫拉伸臺和微納機(jī)械手
 | 掃描電鏡結(jié)合原位拉伸試驗(yàn)臺是一種能夠動(dòng)態(tài)觀測和分析材料微觀變形形貌和斷裂機(jī)制的手段； 利用掃描電鏡的大景深、高空間分辨和分析功能，在微觀層面上對材料的力學(xué)性能進(jìn)行動(dòng)態(tài)研究； 可以為多種材料做拉伸測試，如金屬材料、高分子材料、陶瓷材料等； 拉伸載荷：5000 N，可以實(shí)現(xiàn)-150 ℃~600 ℃溫度下拉伸測試。 |
掃描電鏡結(jié)合納米機(jī)械手，集合納米操作以及力學(xué)-電學(xué)性能同步測試功能于一體； 可以應(yīng)用于復(fù)雜微納米材料的原位機(jī)械力學(xué)性能測試和結(jié)構(gòu)觀察、微納米多自由度操作和精密組裝、微納米機(jī)器人及微納傳感器的力/電學(xué)分析等； 力學(xué)測量范圍從0.5 nN到200 mN，位移檢測范圍0.05 nm到21 mm。 |  |
2. 電子束曝光(EBL)系統(tǒng)
以掃描電子顯微鏡為基礎(chǔ)，配備激光精密工件臺和圖形發(fā)生器的新型納米曝光系統(tǒng)，跟商品化電子束曝光機(jī)相比價(jià)格低廉；
無需改動(dòng)電子顯微鏡，保留顯微鏡的全部功能，用來制作納米級線寬的圖像，操作靈活，成本較低；
DY-2000A型納米通用圖形發(fā)生器是用于電子束曝光的關(guān)鍵設(shè)備；
該系統(tǒng)特別適用于微電子器件、量子器件、光電子器件、聲表面波器件、微電子系統(tǒng)的研究和開發(fā)。
3. 掃描電鏡與激光聯(lián)用系統(tǒng)
根據(jù)客戶定制需求，在電子槍室和樣品倉側(cè)面開口，用于激光引入；
電子槍室引入激光，照射到陰極上可產(chǎn)生光致發(fā)射電子束，用于表面成像、樣品處理等；
樣品倉引入激光到樣品表面，用于樣品激發(fā)或樣品光致改性研究。
4. 掃描電鏡與鍍膜機(jī)聯(lián)用系統(tǒng)
掃描電鏡與鍍膜系統(tǒng)聯(lián)用，真空環(huán)境內(nèi)完成樣品傳運(yùn)以及表面狀態(tài)、形貌及組成成分分析；
在線分析高活性材料表面離子濺射清洗效果及表面腐蝕的微觀過程；
本系統(tǒng)主要功能模塊包括：場發(fā)射掃描電子顯微系統(tǒng)、能譜儀、進(jìn)樣系統(tǒng)，同時(shí)還可以配備多功能樣品臺。
5. 掃描電鏡與掃描隧道顯微鏡(STM)/原子力顯微鏡(AFM)聯(lián)用系統(tǒng)
利用掃描電鏡放大倍數(shù)連續(xù)可調(diào)、長工作距離、大景深、易于觀測粗糙樣品的特點(diǎn)；
與STM/AFM結(jié)合，解決STM/AFM難于定位的難題；
首先使用掃描電鏡進(jìn)行選區(qū)，然后控制探針到選定的微觀區(qū)域進(jìn)行細(xì)致成像；
實(shí)現(xiàn)從宏觀到微觀，從mm 范圍到nm 范圍，從粗造表面到光滑表面的直接觀察；
6. 電子束焊機(jī)圖像系統(tǒng)
巧妙地利用焊機(jī)已有的一些部件，基于背散射電子成像，實(shí)現(xiàn)圖像功能；
數(shù)字化的圖像可以定位焊縫的位置，為跟蹤焊接軌跡，調(diào)整焊接參數(shù)提供了條件，
大大改善焊接過程和焊縫質(zhì)量；
這套圖像系統(tǒng)既可以用于配套生產(chǎn)新型的電子束焊機(jī)，也可以用于升級改造舊的電子束焊機(jī)。
軟件功能介紹
KYKY-SEM電鏡操作軟件純中文操作界面，模塊化布局。在滿足基本電鏡的操作功能外還具有一鍵看像，多點(diǎn)尺寸測量，電鏡圖片文字標(biāo)注，真空圖顯示，CCD窗口顯示等強(qiáng)大的輔助功能，滿足不同用戶的個(gè)性化需求。
圖像處理軟件
場槍圖片示例
行業(yè)應(yīng)用
電池材料
復(fù)合、高分子材料
動(dòng)植物、微生物
粉末冶金材料
礦物
金屬行業(yè)
纖維
建筑材料
化工材料
陶瓷材料
膜行業(yè)
客戶定制：樣品預(yù)處理系統(tǒng)、樣品傳輸系統(tǒng)、特型樣品室、電子束曝光系統(tǒng)（EBL）、分子束外延生長系統(tǒng)（MBE）、MICRO-CT、原位拉伸臺、高低溫樣品臺、微納操作、三束加工設(shè)備、拉曼聯(lián)用、薄膜在線顯微分析等技術(shù)模塊及綜合功能測試平臺。
