濾網:
因半導體、液晶制造業等對潔凈度的不同需求,對于不同粒子大小及集塵效率,可以選擇的濾網。如果您需要的是不含硼(Boron)的濾網,建議采用PTFE型濾網。測試空氣濾網集塵效率時,如果無法接受DOP(Di Octyl Phthalate)作測試時,請通知我們使用Silica粒子而不用水或空氣做測試。
參數規格:
型號說明:
產品圖紙:
服務空間:
機體上方需留30公分以上維修空間。
日常點檢:
每天工作開始前請實施點檢,發現有不正常的情形,立即切斷電源并采取改正措施。
定期維修:
由經銷商或維修人員進行定期檢查。
故障排除: