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概述
產品參數
200 kV相差校正TEM/STEM，平衡了空間分辨率和傾斜、分析性能
通過單極片實現0.078 nm的STEM空間分辨率和高樣品傾斜度、高立體角EDX。
透射電子顯微鏡除了延續了日立公司配備的具有掃描透射電子顯微鏡“HD-2700”的球面像差校正器的功能、自動校正功能，像差校正后的SEM圖像和對稱Dual SDD技術等特點。還融匯了透射電子顯微鏡HF系列中所積累的技術。
對于包括用戶在內的廣泛用戶，我們提供亞?級空間分辨率和高分析性能以及更多樣化的觀察和分析方法。
※
附帶第二顯示器（可選），顯示屏為嵌入式合成界面。
標配日立生產的照射系統球差校正器（附自動校正功能）
搭載具有高輝度、高穩定性的冷場FE電子槍
鏡體和電源等的高穩定性使機體的性能大幅度提升
觀察像差校正SEM/STEM圖像的同時觀察原子分辨率SE圖像
采用側面放入樣品的新型樣品臺結構以及樣品桿
支持高立體角EDX*的對稱配置（對稱Dual SDD*）
采用全新構造的機體外殼蓋
配備日立生產的高性能樣品桿*
產品參數
主要規格
| 項目 | 內容 | |
|---|---|---|
| 電子源 | W（310）冷陰極場發射型 | |
| 加速電壓 | 200 kV、60 kV*1 | |
| 圖像分辨率 | STEM | 0.078 nm（ADF-STEM圖像） |
| TEM | 0.102 nm（晶格像） | |
| 倍率 | STEM | ×20～×8,000,000 |
| TEM | ×100～×1,500,000 | |
| 樣品微動 | 樣品臺 | 偏心測角儀（Eucentric Goniometer）5軸樣品臺 |
| 樣品尺寸 | 3 mm Φ | |
| 移動范圍 | X, Y＝±1.0 mm，Z=±0.4 mm | |
| 樣品傾斜 | α＝±25°、β＝±35°（日立2軸傾斜樣品桿*1） | |
| 像差校正器 | 配有日立照射系統球面像差校正器（標配） | |
| 圖像顯示 | PC | Windows® 7 *2 |
| 顯示器 | 27英寸寬屏液晶顯示器（機體控制顯示器、第二顯示器*1） | |
| 攝像頭 | 標配伸縮式攝像頭 屏幕攝像頭*1（用于熒光板觀察） | |
機體尺寸/重量
| 項目 | 寬度×進深×高度（mm） | 重量（kg） |
|---|---|---|
| 鏡體（含電子槍） | 1,060×1,742×2,970 | 1,940 |
| 機體外殼蓋 | 1,678×1,970×3,157 | 429 |
| 操作臺 | 1,400×819×740 | 132 |
| 擴展操作臺*1 | 580×819×740 | 53 |
| FE槽 | 1,041×840×1,317 | 482 |
| V0槽 | 398×630×1,046 | 164 |
| 控制電源 | 1,400×693×816 | 173 |
| 像差校正器電源 | 606×529×1,096 | 81 |
| 排氣系統電源 | 913×663×1,790 | 378 |
| 轉向系統電源 | 913×663×1,790 | 394 |
| 配重塊 | 280×130×130 | 23 |
| Gatan控制器*1*3 | 576×648×1,173 | 150 |
| 冷卻水控制裝置 | 470×540×350 | 25 |
| 冷卻水循環裝置*1*3 | 970×970×1,064 | 95 |
| 干式泵*1 | 252×400×336 | 23 |
| 空壓機*1 | 275×560×576 | 25 |
安裝條件
| 項目 | 內容 | |
|---|---|---|
| 室溫 | 15～23℃（溫度變化：0.2℃/h以內） | |
| 濕度 | 40～60% RH | |
| 電源 | 機體 | 單相AC200～240 V ±10%、50/60 Hz、10 kVA 斷路器容量 50 A |
| 冷卻水循環裝置*1*3 | 三相AC200 V ±5%、50/60 Hz、30 A | |
| 接地 | D種接地（100 Ω以下） | |
| 冷卻水 | 水量 | 5.1～5.3 L/min 1系統、2.0～2.2 L/min 1系統 （水壓0.25 MPa） |
| 水溫 | 16～18℃（變動：±0.1℃以內） | |
| 氣體 | SF6 | 99.9%以上、180 k～200 kPa |
| 干氮 | 99.9%以上、0～100 kPa | |
| 壓縮空氣 | 600 k～800 kPa | |
購買之前，請設置預定安裝處測量振動、磁場和噪聲，如果超過容許值，請務必另行咨詢。
關于容許值，請另行咨詢。
備注
*1：選項。*2：Windows是在美國以及其他國家的注冊的美國Microsoft Corp.商標。*3：規格、尺寸均根據廠家、型號和配置的不同而會有所不同。
