四探針測(cè)試儀 不帶軟件手動(dòng)

四探針測(cè)試儀 不帶軟件手動(dòng)

本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
RTS-4型四探針測(cè)試儀技術(shù)指標(biāo) ：
 測(cè)量范圍 電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)；
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展)；
電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm；
電阻：0.0001～2000Ω.cm；
可測(cè)晶片直徑  140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))；
 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))；
 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))；
恒流源  電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表  量程及表示形式000.00～199.99 mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗＞1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；ji|性、過量程自動(dòng)顯示；
四探針探頭基本指標(biāo)  間距：1±0.01mm；
 針間絶緣電阻：≥1000MΩ；
 機(jī)械游移率：≤0.3％；
 探針：碳化鎢或高|速 鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù)  (見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)  0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差 (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm測(cè)試) ≤±5％
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度  ≤5％
測(cè)試模式 可連接電腦測(cè)試也可不連接電腦測(cè)試。
軟件功能（選配） 軟件可記錄、保存、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)大值、小值、平均值、大百*變化、平均百*變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能，根據(jù)樣品電阻大小自 動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試。
計(jì)算機(jī)通訊接口 并口，并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間需要1.5  秒。
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境  溫度：23±2℃；
 相對(duì)濕度：≤65％；
 無干擾；
 無光直射；