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XY軸直線電機運動平臺

參考價面議
具體成交價以合同協議為準
  • 公司名稱首昂光電(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質其他
  • 更新時間2023/10/1 8:53:19
  • 訪問次數300
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首昂光電(上海)有限公司十五年深耕激光設備研發,十五年扎根半導體行業應用,造就了首昂光電深厚的技術沉淀以及的行業視角,我們一直致力于把更好的激光與自動化技術帶入半導體行業。作為批將激光應用于二極管、三極管及可控硅晶圓劃切的者,公司技術團隊正積極將激光技術應用到更寬廣的半導體領域,助力中國半導體行業走向與自主可控。公司已儲備大量基礎加工技術,正穩步推進一系列擁有自主知識產權的新工藝、新應用,在多個關鍵制程設備上達到行業水平,實現國產化替代。
晶圓激光切割機
XY運動平臺使用直線電機直接驅動,提供無背隙、高精度、高剛性以及超低速恒速高平穩運動,以滿足對速度、加速度、高精度的要求
XY軸直線電機運動平臺 產品信息

XY運動平臺使用直線電機直接驅動,提供無背隙、高精度、高剛性以及超低速恒速高平穩運動 ,以滿足對速度、加速度、高精度的要求。設計有防護裝置,光柵尺反饋系統,線性滑軌、限位開關等都能得到有限防護。


多軸及高精度直線平臺定制

訂制方法:根據客戶具體要求訂做;

行程范圍:X軸10mm---1000mm、Y軸10mm---1000mm;

精度等級:單軸直線電機定位精度1um---10um,重復定位精度0.5um、1um、2um;

標配反饋尺:發格光柵尺、海德漢光柵尺、雷尼紹光柵尺、SONY磁柵尺,另可根據客戶要求配置;

標配驅動器:以色列Servotronix、以色列ELMO、另可根據客戶要求配置;

驅動控制方式:標準脈沖控制、I/O點控制、CANopen、EtherCAT、RS232;

導軌:標配THK與中國臺灣品牌(P級、SP級精度)導軌。

XY運動平臺包含驅動器,提供平臺萬整的解決方案,根據客戶現場安裝條件、運動要求,我們提供滿足高平穩、高精度的現場調試服務。

對于精度級別不高的應用,可以使用標準直線模組直接組裝,成本低交貨快。


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