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KSI 品牌是由德國的 Klaus Kraemer 博士所創立，Klaus Kraemer 博士是是歐洲聲學顯微技術的，從 1984 年開始一直到現在，近 30 年來，不斷推進高分辨 聲學檢測技術的創新，為半導體、復合材料、生物醫學領域，提供聲學檢測裝備和訂制化的技術解決方案。Klaus Kraemer 博士本人則堪稱歐洲高分 辨聲學檢測技術歷史的活化石。
KSI 公司一直專注于聲學顯微基礎技術的研究與開發，目標是朝更高精度、更高分辨率、更大的產能、設備更加、更加耐用方向發展。這也非常符合德國 人作風，專注、專業、一輩子只做好一件事。 2009 年開發的 FCT 低噪探頭技術，能極大地壓制探頭在水中運動掃描時所產生的水花，顯著提高聲學圖像的品質，并使設備能夠持續在高速狀態下進行工作， 而不會由于巨大的水花而導致對測試結果的誤判。 近年來推出的全新一代 v 系列聲學顯微系統，靈敏度可以達到 0.3 微米。在噪聲控制、弱信號處理技術更上一個新臺階，不需要外置濾波器即可對晶 圓級的缺陷進行高分辨檢測，既讓圖像更清晰，又不遺漏微缺陷。這也是 Ksi 公司多年專注于超聲基礎技術研發的基礎上取得的進展。
掃描范圍適中：300mm x 300mm；
磁懸浮超高速機型；
掃描速度：2米/秒；
掃描加速度：30米/秒；
KSI一臺機器相當于常規機器2臺的工作量。(常規機器小于1米/秒)；
高掃描重復精度：+/-0.1微米（常規機器只能做到0.5微米）；
低噪防誤判探頭（常規機器沒有，無法在高速掃描時去除水花導致的誤判）。
一、掃描機械機構
(1) X、Y軸都是由高精度磁懸浮直線電機驅動
(2) X、Y軸一次掃描行程范圍：300mm×300mm（上限可以做到305mm x 305mm）
(3) X、Y軸一次最小掃描行程范圍：0.2mm×0.2mm
(4) 掃描速率：2000mm/s，掃描加速度30m/s2
(5) X、Y軸掃描重復精度±0.1um
(6) Z軸是高精度自鎖步進電機，行程：100mm
(7) Z軸電機重復精度：± 0.25μm
二、 掃描模式
(1) 點波形(A-Scan)
(2) 縱剖掃描(B-Scan)
(3) 橫剖掃描(C-Scan)
(4) 斜剖掃描（D-Scan）
(5) 等間隔多層橫剖掃描(X-Scan)
(6) 自定義多層橫剖掃描，可獨立設置不同層面的厚度等參數
(7) 透射掃描
(8) 順序掃描、托盤掃描、高質量掃描、表面跟蹤掃描、全息掃描（實體掃描）
(9) 其它
三、 脈沖信號收發器和換能器
(1) 掃描工作模式：單通道工作模式
(2) 脈沖信號收發器帶寬：5MHz～550MHz
(3) 總增益：150dB
四、 主要功能
(1) 測試被測工件內部缺陷，如空洞、分層、裂縫、異物等；
(2) 掃描圖像模板功能，輕松獲得參數一致的聲學顯微圖像；
五、 其它指標
(1) 保存圖像格式：JPG、BMP、SAM(sam是原廠圖像格式)；
(2) 圖像采樣像素：32000×32000像素 ，可以自定義輸入圖像分辨率或單個像素尺寸，由設備自動計算所用的圖像分辨率。
| 序號 | 名稱 | 部件編號 | 說明 | 選配請打v |
1 | 透射掃描模組 | TT-kit | 含透射接收探頭一個、透射樣品臺、其它透射結構件 | |
2 | Jedec樣品架 | Jedec Tray | Jedec Tray | |
3 | 晶圓樣品臺 | Wafer Chunk | Samplestage with wafer chuck | |
4 | 真空吸盤樣品臺 | Universal Vacuum sample stage | Universal Vacuum-Sample-Stage, incl： -Vacuum Pump21qm/h -Water Absorber & Cycling System- Tubes & Cables | |
5 | 三維超聲CT成像軟件 | KSI 4D software | -Four dimensional sample viewing and analyzing -Free rotatable in all axis -Overview of all layers in extra window | |
6 | 高分辨濾波器 | HTE | Hilbert Transformation Envelope | |
7 | 常規探頭 | 5MHz | conventional probe with different focal length | |
8 | 常規探頭 | 15MHz | conventional probe with different focal length | |
9 | 常規探頭 | 20MHz | conventional probe with different focal length | |
10 | 常規探頭 | 30MHz | conventional probe with different focal length | |
11 | 常規探頭 | 40MHz | conventional probe with different focal length | |
12 | 常規探頭 | 50MHz | conventional probe with different focal length | |
13 | 常規探頭 | 75MHz | conventional probe with different focal length | |
14 | 常規探頭 | 100MHz | conventional probe with different focal length | |
15 | 常規探頭 | 110MHz | conventional probe with different focal length | |
16 | 常規探頭 | 125MHz | conventional probe with different focal length | |
17 | 常規探頭 | 150MHz | conventional probe with different focal length | |
18 | 常規探頭 | 230MHz | conventional probe with different focal length | |
19 | 低噪探頭 | 300MHz | conventional probe with different focal length | |
20 | 低噪探頭 | 320MHz | conventional probe with different focal length | |
21 | 聲學物透探頭 | 200MHz | Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle | |
22 | 聲學物透探頭 | 400MHz | Acoustic Objective 200MHz, 60 degree angle |
