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的靈活性
650系列過程控制器采用強大的微處理器，并使用隨附的 PC 軟件（以面向?qū)ο蟮木幊陶Z言編寫），在過程定義和使用方面實現(xiàn)了幾乎的靈活性。該控制器允許操作員在過程執(zhí)行期間實時交互，包括暫停時間、停止和從該點繼續(xù)。
內(nèi)碗設(shè)計消除回濺
封閉的碗設(shè)計，加上過程控制器的精度，允許大多數(shù)涂料在靜止?fàn)顟B(tài)下干燥，提高均勻性并大大限度地減少顆粒污染。上部增壓室在底座內(nèi)部關(guān)閉以提供重疊密封，蓋子內(nèi)側(cè)有一個特殊的排水溝，可將流體引導(dǎo)至系統(tǒng)后部，以防止化學(xué)品意外滴落到基板上。
免受化學(xué)污染
專有的迷宮式密封可保護電機和控制電子設(shè)備免受化學(xué)污染。這種密封為工藝室提供了氮氣吹掃，并且在現(xiàn)場測試期間已被證明在亞微米水平上無顆粒。該系統(tǒng)的蓋子具有耐化學(xué)性，并且在整個系統(tǒng)的某些非潤濕區(qū)域僅使用了ECTFE涂層的 316 不銹鋼螺釘。
既實用又方便
系統(tǒng)可以并且將會通過可下載的固件版本在現(xiàn)場輕松快速地持續(xù)更新。
?智能嵌鎖，系統(tǒng)蓋板具有智能嵌鎖裝置，確保操作安全
?防腐裝置
?設(shè)有保護氣體裝置：旋涂過程中對旋轉(zhuǎn)馬達進行氣流保護
?通信接口，藍牙連接
| 項目 | 內(nèi)容 |
|---|---|
| 腔體尺寸 | 9. 5英寸（241毫米） |
| Wafer芯片尺寸 | 10-150mm直徑的材料，方片125x125mm |
| 轉(zhuǎn)動速度 | 0-12, 000rpm |
| 旋涂加速度 | 0-12, 000rpm/sec |
| 馬達旋涂轉(zhuǎn)速 | 穩(wěn)定性能誤差＜±1% |
| 轉(zhuǎn)速調(diào)節(jié)精度 | ＜0. 2rpm,重復(fù)性＜0. 2rpm |
| 工藝時間設(shè)定 | 1-5999. 9 sec/step 0. 1 精度 |
| 勻膠機材質(zhì) | NPP天然聚丙烯材質(zhì)，抗腐蝕性和抗化學(xué)物性 |
| 高精度數(shù)碼控制器 | PLC控制，設(shè)置點精度小于0. 006% |
| 分辨率 | 小于0. 5轉(zhuǎn)／分，可重復(fù)性小于±0. 5轉(zhuǎn)／分 |
