的靈活性
650系列過程控制器采用強大的微處理器,并使用隨附的 PC 軟件(以面向對象的編程語言編寫),在過程定義和使用方面實現了幾乎的靈活性。該控制器允許操作員在過程執行期間實時交互,包括暫停時間、停止和從該點繼續。
內碗設計消除回濺
封閉的碗設計,加上過程控制器的精度,允許大多數涂料在靜止狀態下干燥,提高均勻性并大大限度地減少顆粒污染。上部增壓室在底座內部關閉以提供重疊密封,蓋子內側有一個特殊的排水溝,可將流體引導至系統后部,以防止化學品意外滴落到基板上。
免受化學污染
專有的迷宮式密封可保護電機和控制電子設備免受化學污染。這種密封為工藝室提供了氮氣吹掃,并且在現場測試期間已被證明在亞微米水平上無顆粒。該系統的蓋子具有耐化學性,并且在整個系統的某些非潤濕區域僅使用了ECTFE涂層的 316 不銹鋼螺釘。

既實用又方便
系統可以并且將會通過可下載的固件版本在現場輕松快速地持續更新。
?智能嵌鎖,系統蓋板具有智能嵌鎖裝置,確保操作安全
?防腐裝置
?設有保護氣體裝置:旋涂過程中對旋轉馬達進行氣流保護
?通信接口,藍牙連接
項目 | 內容 |
---|---|
腔體尺寸 | 9. 5英寸(241毫米) |
Wafer芯片尺寸 | 10-150mm直徑的材料,方片125x125mm |
轉動速度 | 0-12, 000rpm |
旋涂加速度 | 0-12, 000rpm/sec |
馬達旋涂轉速 | 穩定性能誤差<±1% |
轉速調節精度 | <0. 2rpm,重復性<0. 2rpm |
工藝時間設定 | 1-5999. 9 sec/step 0. 1 精度 |
勻膠機材質 | NPP天然聚丙烯材質,抗腐蝕性和抗化學物性 |
高精度數碼控制器 | PLC控制,設置點精度小于0. 006% |
分辨率 | 小于0. 5轉/分,可重復性小于±0. 5轉/分 |