發射源：預對中鎢燈絲

     分辨率：
     3.0nm@ 30kV（SE）；8.0 nm@ 3kV（SE）
     放大倍數：5 ~ 1,000,000×（寶麗來相紙放大）
     加速電壓范圍：200V ~ 30kV
     探針電流范圍：可達到2μA，連續可調
     X-Ray工作距離：10 mm，EDS檢出角：35°
     樣品室：內寬280mm，端口10個
     樣品臺：五軸全自動馬達驅動
     ☆ X=120 mm,
     ☆ Y=120 mm,
     ☆ Z=55 mm,
     ☆ T=-15o~90o,
     ☆ R=360o （連續旋轉）
     ☆ 承重 10 kg

     探測器系統：
     ☆ 高真空二次電子探測器ETD
     ☆ 可伸縮式背散射探測器BSED
     ☆ 樣品室內紅外相機CCD
     ☆ 圖像導航彩色光學相機Nav-Cam+™
     ☆ 具有ChemiSEM技術的TrueSight X EDS 探測器

     控制系統：
     ☆ 操作系統：Windows 10
     ☆ 圖像顯示：24寸LCD顯示器，高顯示分辨率1920×1200
     ☆ 支持用戶自定義的GUI，可同時實時顯示四幅圖像
     ☆ 軟件支持Undo和Redo功能

     實時成分信息：同步掃描獲取多種信號時執行能譜分析，實時檢測形貌與元素信息；

     成像平臺即時可用：只需關注數據采集，不必憂慮電鏡條件設置；

     快速獲得數據：多種成像和掃描策略，優化圖像采集效果并提升系統處理能力；

     靈活的樣品臺設計：全開門式設計，大樣品可輕松加載到樣品倉內，10 kg；

     成像性能：提供低真空模式和電子束減速模式用于消除荷電效應。