主要性能特征
對射式非接觸式同軸激光位移傳感器測量
直線電機高精度龍門運動機構
兼容拋光、未拋光、透明及非透明晶圓測量。
共面氣浮移動軸承確保樣品的移動獲得的平面度及平順性
兼容1-8英寸規格晶圓樣品(可擴展至300mm12英寸產品)
晶圓的測量厚度范圍為10um-20mm
抗震式花崗巖底座及高隔振一體式機架
掃描速度1m/s
可自定義生成快速便捷的自動化測量模式
直觀簡單的2D或3D數據呈現方式
適用于厚度， TTV， LTV， TIR， Sori， Taper， Bow和Warp測量參數及標準

測量參數

激光測量技術


平面氣浮軸承技術

氣浮軸承是一種利用氣體動靜壓原理工作的非接觸式軸承，由于工作在平面度的花崗巖表面，因此本身也能獲得非常理想的運動平面度及平順性，特別適用于高精度檢測以及超精加工領域。
我司使用的為特殊設計加工的預壓式氣浮軸承，具有高剛性、高平面度、免維護、使用壽命長等特點，可確保設備24小時連續工作無異常，最長設備使用壽命達到10年。


外形尺寸圖
選型要求
1、可根據客戶要求定制不同的治具，兼容不同形狀及尺寸的晶圓或其它產品。可選配自適應工裝，自動調整尺寸滿足連續生產要求。
2、設備適用于潔凈度高于1000級或以上無塵室，設備使用環境溫度：20-25±0.3攝氏度(1小時連續變化溫度不超過1攝氏度)，如客戶使用環境無法達到使用要求，可選配完整機罩或局部恒溫系統。
3、設備使用中需要提供穩定氣源，氣源要求如下：