產品介紹：

       所述ZeGage™臨和ZeGage™臨HR 3D光學廓提供非接觸測量及微表征和納米尺度的幾乎任何表面特征，以及設置性能臺式的新標準，易用性，靈活性，和精密級工業非接觸式表面輪廓儀。

       基礎 ZeGage™ Pro 模型提供納米尺度的表面映射，滿足大多數工業表面的需求。對于更光滑的樣品，具有更精細的表面光潔度，ZeGage™ Pro HR 提供 20 倍以上的精度和 0.15 nm 的垂直精度。

       近十年來，ZYGO 的 ZeGage™ 產品一直在將干涉表面輪廓分析從實驗室引入生產。借助 ZeGage Pro 和 Pro HR 系統，強大且值得信賴的功能（例如用于振動穩健計量的 SureScan™ 技術）現在與 ZYGO 的零件查找器和智能設置工具相結合，可以快速輕松地更換樣品，限度地減少浪費的時間并限度地提高產量。

       與所有早期的 ZeGage™ 輪廓儀一樣，ZeGage™ Pro 和 Pro HR 系統采用緊湊的臺式設計。結合 SureScan™ 技術，無需昂貴的隔振臺、系統外殼或耗材。它們還運行 ZYGO 的交互式控制軟件Mx™，以實現簡單和詳細的可視化，以幫助您控制過程。

Mx 軟件屏幕（單擊圖像查看大圖）

       閱讀更多內容，了解 ZeGage™ Pro 系統的強大功能、多功能性和價值如何使您受益。

主要特征：

    ? 抗振，用于生產車間的計量和過程控制。

    ? 符合 ISO 25178 標準的結果確保您對計量的信心。

    ? 非接觸式、基于區域的計量技術可防止零件損壞并且對零件鋪設不敏感。

    ? 測量不需要消耗品。

強大的性能

• 專有的非接觸式測量技術通過 SureScan™ 技術得到增強，對振動的敏感性低，易于放置在您設施內的任何位置。

• 具有納米級精度的定量表面計量提供了的測量能力。

• 高分辨率190萬像素的圖像傳感器可在數秒內完成快速的面積測量，以實現出色的表面細節和可視化。

• 全自動測量序列和現場拼接可實現大面積的高分辨率檢測。（需要可選的電動部件平臺。）

多功能性

• 測量各種表面材料和參數，包括表面紋理、形狀、臺階高度等的 2D 和 3D 輪廓。

• 隨附的 Mx 軟件提供了用于表面數據可視化、分析和報告的綜合工具。

• 使用包括物鏡轉盤、手動和電動樣品臺以及用于使用 Cognex VisionPro® 進行薄膜形貌分析和 2D 分析的可選軟件模塊在內的附件擴展您投資的測量范圍。

生產力和價值

• 智能設置技術通過自動化零件查找、燈光設置和掃描配置來減少培訓時間并縮短零件更換時間。智能設置通常會在將樣品置于物鏡下后 1 分鐘內生成個數據圖。

• 與替代系統（包括機械接觸測針輪廓儀）相比，具有成本效益的性價比具有優勢。

• 非接觸式方法意味著無需擔心耗材更換成本。

• 緊湊、抗振的 SureScan™ 技術可輕松集成到您設施的任何位置。