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一、用途與特點
質量流量控制器 (Mass Flow Controller 縮寫為 MFC) 用于對氣體的質量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業、特種材料學科、化學工業、是有工業、醫藥、環保和真空燈多種領域的科研和生產中有著重要的作用。其典型的應用場合包括：電子工藝設備，如擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設備、光纖熔煉、微反應裝置、混氣配氣系統、毛細管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
二、工作原理
CF系列氣體質量流量控制器的精度、堅固性及可靠性源于我公司的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成──速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒定溫差所消耗的電功率與氣體的質量流量成正比的原理計算流量。兩傳感器均為標準級白金電阻溫度探測器（RTD）。白金RTD 絲纏繞在堅固的陶瓷芯軸上，牢固且可靠。整個傳感器密封在316 不銹鋼包裝殼內。
產品詳情介紹
? 主要技術指標
技術指標 | 中量程氣體質量流量計（模擬型） | 中量程氣體質量控制器（模擬型） | ||
量程范圍 | 30SLM~100SLM | 100SLM~200SLM | 30SLM~100SLM | 100SLM~200SLM |
量程比 | 100：1 | 50：1 | ||
精度 | ±1.0%F.S | |||
線性 | ±0.5~1.5%F.S | |||
重復精度 | ±0.2%F.S | |||
響應時間 | ＜1.5S | ＜2S | ||
模擬量輸出 | 0-5V 或4-20mA | |||
數字量輸出 | RS232/485 MODBUS協議 | |||
供電 | ±15VDC 或24VDC | |||
工作壓力 | 工作壓降＜0.01Mpa | 工作壓差：0.01~0.5MPa | ||
耐壓 | 3MPa 可定制10MPa | |||
漏率 | 1×10-8SCCSHe | |||
工作溫度 | 0~50℃ | |||
底座材質 | 316L不銹鋼 | |||
密封材質 | 氟橡膠、丁晴橡膠、氯丁橡膠、聚四氟乙烯 | |||
接頭 | 可選配卡套、快插、寶塔接頭 | |||
注意：
質量流量計和質量流量控制器出廠通常用氮氣(N2)標定.
質量流量的單位規定為:SCCM (標準毫升/分); SLM (標準升/分)
標準狀態規定為： 溫度-----273.15K (0℃);
氣壓-----101325 Pa （760mm Hg）
F.S (Full Scale); 滿量程值
? 外型尺寸
