磁耦合的旋轉(zhuǎn)活塞泵,密封,干燥壓縮,空冷。
適用于清潔工藝、顆粒物和粉塵的工藝,UniDry 50在排氣側(cè)使用冷凝或升華技術(shù)來處理應(yīng)用。此外,其還具備低泄漏率和易安裝的特點。
產(chǎn)品優(yōu)勢
取決于工藝要求可采用不同的惰性氣體
得益于空氣冷卻和惰性氣體消費而實現(xiàn)的低運行成本
與水蒸氣的良好兼容性
干壓縮泵系統(tǒng)
應(yīng)用
OktaLine 羅茨泵 250/500 的前級泵
HiPace 渦輪分子泵站的前級泵
檢漏
裝載互鎖室
空間模擬
加速器
分析儀器
純凈氣體
干燥工藝
鍍膜
半導(dǎo)體
冶金