目前，許多行業都在使用等離子UV光氧一體機，這類設備主要是兩種設備的共同體，這兩種設備是等離子體廢氣凈化裝置和光氧催化廢氣凈化設備，主要結合這兩種設備的優點，利用等離子體分解技術和紫外光催化技術對工業廢氣進行協同凈化處理。等離子UV光氧一體機主要具有操作成本低、面積小、無機械作用等優點。

等離子UV光氧一體機的前段主要處理含有油性氣體或者煙氣，后段主要處理voc廢氣的氣味。

等離子區工作原理：

當廢氣進入等離子光解一體機凈化設備內時，先經過等離子體化學反應過程，即電子先從電場獲得能量，通過激發或電離將能量轉移到分子或原子中去，獲得能量的分子或原子被激發，同時有部分分子被電離，從而成為活性基團;之后這些活性基團與分子或原子、活性基團與活性基團之間相互碰撞后生成穩定產物和熱。

光氧催化區工作原理：

通過銷毀、分解和催化氧化，將污染氣體分解成無味的氣體。C帶光是用來強烈破壞被污染氣體的分子鏈，改變物質的分子結構，分解聚合物污染物并將其氧化成低分子物質，如水和二氧化碳。O₃強催化氧化劑能殺滅，破壞物質，使其轉化為低分子物質。激光在C波段激發催化劑涂層產生活性，提高催化氧化能力。在分解過程中，高臭氧紫外線光束分解空氣中的氧分子產生自由氧，即活性氧，由于自由氧攜帶的正負電子不平衡，需要與氧分子結合，從而產生臭氧。O₂≤O-O(活性氧物種)O₂≤O₃(臭氧)。，臭氧對物有的氧化作用。O₃還催化廢氣氧化制強催化氧化劑，裂解臭氣中的分子鍵，破壞核酸(DNA)，然后被臭氧氧化，達到除臭和殺滅的目的。

對于等離子UV光氧一體機的應用也比較廣泛，主要運用在造紙業、制藥行業、橡膠輪胎或者橡膠密封條生產車間、垃圾處理、皮革行業、印刷行業、香料生產業、飼料廠及農藥生產廠等多個行業中的氣體、惡臭和異味的處理，等離子氧一體機對部分行業的凈化效率在85%左右，是目前市場上的廢氣凈化設備。