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產品特色

EFM500氣體流量傳感器的特征是：可雙向檢測氣體流量，測量范圍是±（20-500 ）SLPM，總誤差為讀數的1%。流線型對稱設計，高質量塑料制造，即使在雙向流量下也呈現非常低的壓降。校準氣體為空氣，也可根據要求提供其他非腐蝕性氣體。

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性能指標

校準氣體    空氣，其它可用氣體根據要求

流量范圍    ±（ 20-500 ）SLPM，雙向或單向

供電電壓    3.3V 或 5V

工作壓力    1.45BarA

預熱時間    35ms

輸出信號    I2C，SPI，0-5V，0-3.3V

總 誤  差    1%讀數

ADC分辨率    16位

輸出刷新率    1ms（ 1KHz ）

壓       損   <750pa@200 SLPM

操作溫度    - 40℃ ~ 85℃

校準溫度    0℃ ~ 50℃

濕       度    0% - 95% RH, 無冷凝

尺       寸    44×92.8×35.4mm（W×L×H)

材       質    接液材質：增強玻璃熱塑性聚合物、金、硅、氮化硅、硅氧化物、

                  環氧樹脂、硅橡膠、FR4、聚氨酯、316不銹鋼

                  外殼材質：增強玻璃熱塑性聚合物

過程接口    22mm ISO 5356

電氣接口    2mm 鎖定連接器

認       證    RoHS, CE,WEEE

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選項配件

評估套件

氣體流量評估套件被設計成一款即插即用型設備，無需定制軟件或硬件設計及開發，旨在為用戶提供一個緊湊的解決方案來評估EFM500系列雙向氣體質量流量計。開發了一個用戶友好的軟件用于記錄和監測EFM500系列的流量數據。

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