菏澤力芯電子科技有限公司設(shè)計(jì)生產(chǎn) 半導(dǎo)體清洗設(shè)備、CDS系統(tǒng)、電化學(xué)鍍?cè)O(shè)備各種石英存儲(chǔ)柜、閥箱、花籃、閥門、泵、接頭PFA焊接機(jī)等。
半導(dǎo)體清洗設(shè)備:包含手動(dòng)/自動(dòng)/半自動(dòng)槽式清洗機(jī)、全自動(dòng)去膠機(jī)、自動(dòng)混酸蝕刻機(jī)、單片清洗機(jī)等等 ,可根據(jù)客戶需求定制產(chǎn)品
風(fēng)囊泵是高純度的再循環(huán)和供液的理想解決方案,供液溫度高達(dá)100°C。 PTFE和PFA泵無金屬,換向閥無需鎖定和手動(dòng)復(fù)位。 可以安全可靠的在兩年的保修期內(nèi)運(yùn)行。 允許工作壓力7公斤(100 psi),可以在100度無需冷卻水的熱循環(huán)中使用。 該泵可在四個(gè)型號(hào)ST015、ST030、ST060 和 ST140流量為15、30、60和140升/每分鐘。
風(fēng)囊泵在濕法腐蝕清洗設(shè)備中主要有以下應(yīng)用:
(1)藥液恒溫控制:由風(fēng)泵、循環(huán)溢流、閥門、過濾器、管件、熱交換器,制冷機(jī)或加熱器等組成溫度控制系統(tǒng),通過泵使藥液循環(huán)并在熱交換器內(nèi)進(jìn)行熱交換用以實(shí)現(xiàn)藥液的恒溫控制。
(2)藥液的循環(huán)過濾:由風(fēng).泵、循環(huán)溢流槽、閥門、過濾器、管件等組成藥液的循環(huán)過濾系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)藥液的循環(huán)過濾,均勻流場(chǎng)。保證工藝滿藥液溫度和濃度的均勻性,
(3)廢液回收和再利用:120℃以上強(qiáng)腐蝕性藥液(如SPM)使用后廢液如直接從工藝補(bǔ)排至廢液管道,由于溫度高,將導(dǎo)致排液管道的損壞,引起安全事故,采用工藝糟內(nèi)自然冷卻的方法又耗時(shí)過長(zhǎng),影響生產(chǎn)效率。一般采用高溫風(fēng).泵將棲內(nèi)藥液輸送至降溫槽,在降溫棲內(nèi)降溫后再排入排廢管道,這種方法即節(jié)首了時(shí)間,又保證了生產(chǎn)的安全性,被業(yè)界所廣泛