功能特點

1.光機電一體化設計，外形結構簡單；

2.掃描探頭和樣品臺集成一體，抗干擾能力強；

3.精密激光檢測及探針定位裝置，光斑調節簡單，操作方便；

4.采用精密探針定位模塊，更換探針簡單方便

5.采用樣品趨近探針方式，使針尖垂直于樣品掃描；

6.伺服馬達手動或自動脈沖控制，驅動樣品垂直接近探針，實現掃描區域精確定位；

7.高精度大范圍的樣品移動裝置，可自由移動感興趣的樣品掃描區域；

8.高精度大范圍的壓電陶瓷掃描器，根據不同精度和掃描范圍要求選擇；

9.帶光學定位的CCD觀察系統，實時觀測與定位探針掃描樣品區域

10.模塊化的電子控制系統設計，便于電路的持續改進與維護；

11.集成多種掃描工作模式控制電路，配合軟件系統使用。

12.彈簧懸掛式防震方式，簡單實用，抗干擾能力強

操作功能

1. 可自由選擇圖像采樣點為256×256或512×512

2. 多通道圖像同步采集顯示，實時查看剖面圖

3. 可進行掃描區域偏移、剪切功能，任意選擇感興趣的樣品區域

4. 可任意選擇樣品起始掃描角度

5. 激光光斑檢測系統的實時調整功能

6. 可任意定義掃描圖像的色板功能

7. 支持樣品傾斜線平均、偏置實時校正功能

8. 支持掃描器靈敏度校正和電子學控制器自動校正

9. 支持樣品圖片離線分析與處理功能

技術規格