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TSS-2000 EFEM

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱沈陽(yáng)新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地沈陽(yáng)市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2025/1/17 7:48:10
  • 訪問(wèn)次數(shù)81
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新松機(jī)器人自動(dòng)化股份有限公司(以下簡(jiǎn)稱“新松”)成立于2000年,隸屬*,是一家以機(jī)器人技術(shù)為核心的高科技上市公司。作為中國(guó)機(jī)器人企業(yè)及國(guó)家機(jī)器人產(chǎn)業(yè)化基地,新松擁有完整的機(jī)器人產(chǎn)品線及工業(yè)4.0整體解決方案。以創(chuàng)新、開放和共贏的思維行業(yè)進(jìn)步,以的產(chǎn)品和服務(wù)為客戶持續(xù)創(chuàng)造價(jià)值。新松本部位于沈陽(yáng),在上海設(shè)有總部,在沈陽(yáng)、上海、杭州、青島、天津、無(wú)錫建有產(chǎn)業(yè)園區(qū)。同時(shí),新松積極布局市場(chǎng),在韓國(guó)、新加坡、泰國(guó)、香港等地設(shè)立多家控股子公司,現(xiàn)擁有4000余人的研發(fā)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì),形成以自主核心技術(shù)、核心零部件、核心產(chǎn)品及行業(yè)系統(tǒng)解決方案為一體的全產(chǎn)業(yè)價(jià)值鏈。作為中國(guó)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)頭雁,新松已創(chuàng)造了百余項(xiàng)*。成功研制了具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的工業(yè)機(jī)器人、協(xié)作機(jī)器人、移動(dòng)機(jī)器人、特種機(jī)器人、服務(wù)機(jī)器人五大系列百余種產(chǎn)品,面向智能工廠、智能裝備、智能物流、半導(dǎo)體裝備、智能交通,形成產(chǎn)業(yè)方向,致力于打造數(shù)字化物聯(lián)新模式。產(chǎn)品累計(jì)出口30多個(gè)國(guó)家和地區(qū),為3000余家企業(yè)提供產(chǎn)業(yè)升級(jí)服務(wù)。新松緊抓新一輪科技革命和產(chǎn)業(yè)變革契機(jī),發(fā)揮人工智能技術(shù)的賦能效應(yīng),以工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)、大數(shù)據(jù)、云計(jì)算、5G網(wǎng)絡(luò)等新一代*科技推動(dòng)機(jī)器人產(chǎn)業(yè)平臺(tái)化發(fā)展,打造集創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、金融鏈、人才鏈于一體的生態(tài)體系。聚焦核心技術(shù),共享智能時(shí)代。智慧新松,未來(lái)!
EFEM是一個(gè)晶圓前端傳輸設(shè)備,是一個(gè)與SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容的界面系統(tǒng),可以手動(dòng)或者配合MR或OHT的承載水平傳輸晶圓。該系統(tǒng)提供單線接口供工廠控制,充裕的傳輸間距與工廠交互和簡(jiǎn)單的方式供人工服務(wù)。占地面積小,采用帶外部軸的雙臂機(jī)械手,通過(guò)雙軸復(fù)合運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)取放片,極大的提高了傳片效率的同時(shí)而又降低了產(chǎn)品維護(hù)成本。內(nèi)部全新的氣體導(dǎo)流結(jié)構(gòu),保證內(nèi)部空間潔凈度能夠滿足ISO Class 1級(jí)別,保證晶圓傳輸......
TSS-2000 EFEM 產(chǎn)品信息

advantages

產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
  • 符合SEMI標(biāo)準(zhǔn)
    整機(jī)參照SEMI進(jìn)行設(shè)計(jì),符合半導(dǎo)體行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)
  • 自主研發(fā)
    大氣手、aligner、SMIF、buffer等核心部件均自主研發(fā),穩(wěn)定性高
  • 尺寸多樣性
    采用行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)尺寸,內(nèi)部空間布局合理,結(jié)構(gòu)緊湊性強(qiáng),可根據(jù)用戶需求定制
  • 傳輸效率高
    多款大氣手、aligner等部件可供選配,可配置外部軸,大氣手可實(shí)現(xiàn)多種取放功能,傳輸效率高
  • 標(biāo)準(zhǔn)化程度高
    內(nèi)部零部件高度標(biāo)準(zhǔn)化模塊化,互換性高
  • 兼容性強(qiáng)
    可根據(jù)用戶的實(shí)際需求進(jìn)行非標(biāo)定制


Application areas

產(chǎn)品應(yīng)用領(lǐng)域
  • 半導(dǎo)體晶圓傳輸

parameter

產(chǎn)品參數(shù)
  • 尺寸

    1820*780*2300mm

  • 重量

    ≤1100kg

  • 潔凈等級(jí)

    class 1

  • wafer放置位置精度

    ±0.1mm

  • wafer放置角度精度

    ±0.2°

  • WPH

    ≥400

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