產(chǎn)品介紹
恒歌DF系列擴(kuò)散器專用過濾器,專為半導(dǎo)體制程中真空腔體快速放氣應(yīng)用進(jìn)行設(shè)計。結(jié)合了擴(kuò)散器的氣體流動特性和高效過濾器的顆粒攔截特性,擴(kuò)散器專用過濾器過濾精度可達(dá)0.003um。全316L不銹鋼結(jié)構(gòu),不僅確保高效過濾,更巧妙的規(guī)避了湍流產(chǎn)生,對工藝室環(huán)境造成影響,有效防止氣流吹起顆粒或者吹起硅片。可定制化設(shè)計,靈適
應(yīng)各類安裝空間。深圳市恒歌科技有限公司致力于高難度燒結(jié)過濾器的研發(fā)生產(chǎn)是集多孔燒結(jié)過濾器、半導(dǎo)體氣體過濾器的研發(fā)、制造、銷售和OEM/ODM服務(wù)為一體的技術(shù)企業(yè)