上圖是具有不同用途的金剛石薄膜產品,其中左上角是獨立式金剛石薄膜,右下角是在Si襯底上的金剛石薄膜.
產品說明:CVD金剛石薄膜
概述:
我們可以提供厚度低至50nm的獨立式金剛石薄膜。它們分別用于以下幾個方面:
l 超薄X-射線窗口
l 重離子輻射探測器
l 高能粒子輻射發光屏
l 產生高離化粒子的剝離膜
l 激光加速膜
這樣的金剛石薄膜可以采用獨立式的,也可以用CVD技術沉積到附加的支撐基底上。
CVD金剛石薄膜規格參數:
材料 | CVD光學級金剛石 |
導熱系數 | >1800 W/mK |
表面 | 雙面拋光,表面粗糙度< 10 nm rms |
尺寸 | 直徑可達76 mm(依賴于厚度) |
厚度 | 在50nm(更薄,可根據要求)和幾十μm之間 |
鍍膜 | 金屬化或介質層 |
裝配 | 獨立式或附加到支撐體上 |