二手9.5成新奧林巴斯OLS4000激光共聚焦顯微鏡,使用時間只有半年。
3D測量激光共焦顯微鏡 LEXT OLS4000 規格 | ||||
光學系統 | UIS2光學系統(無限遠校正) | |||
總倍率 | 108x~17280x | |||
觀察視場 | 2560x2560~16x16 µm | |||
機身 | 觀察方法 | 明視場/微分干涉/激光/激光微分干涉 | ||
激光 | 405 nm 半導體激光 | |||
白色照明 | 白色LED照明 | |||
對焦單元 | 粗調Z軸 | 行程 | 100 mm | |
樣本高度 | 100 mm | |||
細調Z軸物鏡轉換器 | 行程 | 10 mm | ||
驅動分辨率 | 0.01 µm | |||
重復性 | σn-1=0.012 µm | |||
物鏡 | 5x, 10x, 20x, 50x, 100x | |||
光學變焦 | 1x~8x | |||
載物臺 | 電動載物臺 | 100x100 mm | ||
外形尺寸 | 276(W)x358(D)x405(H) mm | |||
重量 | 32 kg(只包括機身) |
LEXT OLS4000 3D激光測量顯微鏡是專門為納米級影像、3D測量和粗糙度測量設計的。其倍率范圍為108x-17,280x,足以滿足現今所有研究人員的需求。
- 精益求精的測量性能
- 理想的操作環境
- 的粗糙度分析能力
精益求精的測量性能
輕松檢測尖銳角
采用了高N.A. 的專用物鏡及能限度發揮405 nm 激光性能的專用光學系統,LEXT OLS4000可以精確的測量一直以來無法測量的有尖銳角的樣品。
有尖銳角的樣品(剃刀)
LEXT 專用物鏡
克服反射率的差異
LEXT OLS4000 采用了新開發的雙共焦系統。由于配置了2 個共焦光學系統,那些一直以來使用激光顯微鏡難以測量的、含有不同反射率材料的樣品,也能在LEXT OLS4000上獲得鮮明的影像。
反射率有差異的樣品(金剛石電鍍工具)
雙共焦系統
多層模式有利于透明層的測量
過去,激光顯微鏡焦點的位置都會設置在樣品上反射光強度的區域。但是,這樣的設計有時候會很難識別透明樣品的正確形狀,因為激光光束會直接穿過樣品。LEXT OLS4000 全新的多層模式則可以識別多層樣品各層上反射光強度的峰值區域,并將各層設為焦點,這樣即可實現對透明樣品上表面的觀察和測量,而且也可以對多層樣品的各層進行分析和厚度測量。
觀察/測量透明材料的上表面
一般而言,使用激光掃描顯微鏡,很難對如金屬基板上的透明膜等樣品進行測量。而多層模式則可實現對此類透明膜樣品的頂層進行觀察和測量。
一般而言,使用激光掃描顯微鏡,很難對如金屬基板上的透明膜等樣品進行測量。而多層模式則可實現對此類透明膜樣品的頂層進行觀察和測量。
金屬材料的表面涂層
傳統模式
傳統模式
多層模式
分析透明材料的各個層
多層模式也可以對透明樣品的各層進行分析。例如,即使該樣品是玻璃基板上的透明樹脂涂層,也可測量出透明材料下那層的形狀和粗糙度,當然也可以測量出表面覆膜的厚度。
多層模式也可以對透明樣品的各層進行分析。例如,即使該樣品是玻璃基板上的透明樹脂涂層,也可測量出透明材料下那層的形狀和粗糙度,當然也可以測量出表面覆膜的厚度。
金屬基板上的聚酰亞胺覆膜
穩定測量環境
為了排除來自外部的影響,穩定測量,LEXT OLS4000 機座內置了由螺旋彈簧和阻尼橡膠組成的"混合減震機構"。所以,可以把LEXT OLS4000 放在普通的桌子進行測量作業,不需要專用的防震平臺。
受到來自外部的
振動的影響
混合減震機構減輕
振動帶來的影響
創的兩項性能保證
表示測量儀器的測量精度的,有2個指標。一個是測量值與真正值的接近程度(正確性),另一個則是多次測量值的偏差程度(重復性)。LEXT OLS4000是世界保證了"正確性"和"重復性"的激光顯微鏡
2個性能保證
OLS4000從鏡頭制造到成品全部在奧林巴斯工廠完成,并按照一系列標準嚴格檢查后出廠。交付產品時的校正和最后的調整,由選拔出來的技術人員在實際使用環境中執行。
更加真實的再現微小凹凸
微分干涉觀察是超越了激光顯微鏡的分辨率、可以觀察到納米以下微小凹凸的觀察方法。LEXT OLS4000 通過安裝在物鏡上方的DIC 分光棱鏡,將照明光橫向分為兩束光線來照射樣品。獲取由樣品直接反射回來的兩束光線的差,生成明暗對比,從而實現對微小凹凸的立體觀察。LEXT OLS4000 采用了微分干涉觀察,即使是低倍率的動態觀察,也能得到接近電子顯微鏡分辨率的影像。
有DIC(高分子薄膜)
無DIC(高分子薄膜)
對應大范圍觀察
在高倍率影像觀察中,視場范圍會變窄。LEXT OLS4000 搭載了拼接功能,最多可拼接500 幅影像,從而能得到高分辨率和廣視場范圍的影像數據。不僅如此,LEXT OLS4000 還能對該廣視場影像進行3D 顯示和3D 計測。
拼接前的影像
拼接后的亮度影像
拼接后的3D 影像
理想的操作環境
通過ID 管理來強化自定義和安全性
登錄系統畫面
操作員可以使用自己的ID 登錄系統,對影像數據庫和操作環境進行自定義。報告和影像上會顯示ID 號碼,這樣,誰、何時創建或拍攝等信息便一目了然。此外,還可以對每個ID 設置級別,管理者可以自由分配各操作員的操作范圍和功能范圍。
即使是初次使用者也能安心操作的向導功能
LEXT OLS4000 搭載了詳細的向導功能,即使是初次使用者也能立即操作儀器,不需要在閱讀使用說明書或培訓上花費時間。也可以對向導功能進行自定義。
向導功能
自動測量功能* 實現高效連續的測量
每個對象反復進行固定方式的測量時,可以準確而高效地工作。如果重復測量的次數很多,就更需要該功能了。自動測量功能(可選項)通過預先設置條件,從樣品的校準到獲得測量結果,一系列操作都能輕松完成
* 自動測量功能是可選功能。
* 自動測量功能是可選功能。
自動測量功能
不會在觀察中"迷路"的宏觀圖。
一直以來,由于高倍率觀察時的視場變窄,經常會有不知道在觀察樣品的哪一部分等情況發生。LEXT OLS4000 搭載了宏觀圖功能,始終顯示低倍率觀察時的大范圍影像,在影像上指出"現在在這里"。
宏觀圖功能
避免接觸和損壞樣品、自動調整影像的電動物鏡轉換器
電動物鏡轉換器
為了避免切換物鏡時損壞樣品,LEXT OLS4000 搭載了標準配置的電動物鏡轉換器。切換物鏡時,物鏡轉換器自動退避,不會接觸樣品。不僅如此,電動物鏡轉換器還能同時自動對準焦點和影像中心,調整合適的亮度,實現了輕松的倍率變換操作。
能提供熟練操作者描繪水平的INR 算法
奧林巴斯根據長年積累的經驗和技術,成功的在設備中嵌入了相當于熟練操作者水平的異常值判斷基準。這就是新搭載在LEXT OLS4000 中的INR(Intelligent Noise Reduction) 算法。初次操作儀器的操作員也能輕松獲得與熟練操作者一樣水平的影像。
使用INR算法
不使用INR算法
實現了創建報告時必需的快速和簡明易懂
激光顯微鏡可以代替相關人員,快速而清楚地把觀察和測量結果制作成報告。LEXT OLS4000在測量結束后,只要一個點擊就可以完成創建報告任務。同時,LEXT OLS4000 還備有充實的編輯功能,可以自由自在地定制各種報告模板。
報告用戶界面
報告完成版本
的粗糙度分析能力
將激光納入表面粗糙度測量儀的標準中
粗糙度測量畫面
作為表面粗糙度測量儀的新標準,奧林巴斯開發了LEXT OLS4000。對LEXT OLS4000 進行了與接觸式表面粗糙度測量儀同樣的校正,并在LEXT OLS4000上配置了幾乎所有必要的粗糙度參數和濾鏡。這樣,對于使用接觸式表面粗糙度測量儀的用戶來說,能得到操作性和互換性良好的輸出結果。另外,還搭載了粗糙度專用模式,可以用自動拼接功能測量樣品表面直線距離最長為100 mm 的粗糙度。
OLS4000與接觸式表面粗糙度測量儀的測量截面曲線比較(截面全長1.6 mm)
LEXT OLS4000 測量所得的截面曲線,
λs=2.5 μm 未處理
LEXT OLS4000 測量所得的截面曲線,
采用λs=2.5 μm 處理
接觸式表面粗糙度測量儀測量所得的截面曲線
參數一覽
LEXT OLS4000 輪廓曲線參數一覽
LEXT OLS4000 表面粗糙度測量參數一覽(符合ISO25178)
微細粗糙度
使用接觸式表面粗糙度測量儀,無法測量比觸針的針尖直徑更細微的凹凸。而激光顯微鏡有著微小的激光焦斑直徑,所以能夠對微細形狀進行高分辨率的粗糙度測量。
接觸式表面粗糙度測量儀
激光顯微鏡
非接觸
使用接觸式表面粗糙度測量儀測量柔軟的樣品時,樣品容易受到觸針損傷而變形。另外,帶有粘性的樣品會粘在觸針上,無法得到正確的測量結果。而非接觸式的激光顯微鏡,不會被樣品的表面狀態所影響,可以準確的測量樣品的表面粗糙度。
柔軟的樣品
帶有粘性的樣品
細微處也可以測量
使用接觸式表面粗糙度測量儀,其觸針無法進入微小領域,所以不能對微小領域進行測量。而激光顯微鏡可以正確定位,能輕松測量出特定微小領域的粗糙度。