北京東方晨景科技有限公司提供的三維磁場探針臺，采用無磁材料制成，三對類亥姆霍茲線圈正交放置，產生空間三維磁場，線圈采用水冷結構，并且配備有線圈過熱保護裝置，可以長時間穩定工作。通過軟件或者電源前面板控制每一維上的輸出電流，可以產生空間任意方向的矢量磁場。探針臺配備有可移動樣品臺，可以實現水平方向二維移動和樣品臺360度轉動，便于樣品的安裝和測試。探針臺具有四個高精度探針臂，同時配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過直流或者低頻交流信號，用來測試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應用于半導體工業、MEMS 、超導、電子學、鐵電子學、物理學、材料學和生物醫學等領域。

三維磁場探針臺和東方晨景自主研發的高精度雙極性電源相匹配，通過真正的雙極性電源輸出，實現了空間任意方向上的矢量場合成.

三維磁場探針臺參數

◆ X軸線圈外徑：640mm

◆ Y軸線圈外徑：470mm

◆ Z軸線圈外徑：260mm

◆ X軸線圈間距：240mm

◆ Y軸線圈間距：126mm

◆ Z軸線圈間距：100mm

◆ X軸線圈電流：≤14A

◆ Y軸線圈電流：≤14A

◆ Z軸線圈電流：≤14A

◆ X軸中心磁場：≥300Gs

◆ Y軸中心磁場：≥300Gs

◆ Z軸中心磁場：≥300Gs

◆ X軸均勻度（Φ20球體）：0.1%

◆ Y軸均勻度（Φ20球體）：0.07%

◆ Z軸均勻度（Φ20球體）：0.5%

◆ 線圈冷卻形式：水冷

◆ 線圈工作溫度：＜60℃

◆ 總重量：約330㎏

樣品臺參數

◆ 樣品臺直徑：102mm(可更換)

◆ X方向行程：±51mm

◆ Y方向行程：±51mm

◆ 旋轉角度：360°

◆ 旋轉精度：0.1°

◆ 材料：無磁

探針座參數

◆ X向行程：±6mm

◆ Y向行程：±6mm

◆ Z向行程：±6mm

◆ 分辨率：20μm

◆ 三圍尺寸：38W*62D*54H

◆ 重量：200克

注：探針座可選

探針參數

◆ 長度：38mm

◆ 直徑：0.51mm

◆ 針尖直徑：10μm

◆ 材料：鎢

注：探針可選

顯微鏡參數

◆ 成像元件：CMOS

◆ 成像原件像素：1000萬

◆ 有效像素：1280*1024

◆ 連續變倍：6X-600X

◆ 視場范圍：3.5mm-35mm

◆ 調焦范圍：65mm

◆ 鏡頭直徑：50mm

◆ 最小分辨率：1微米

◆ 十字光標：4組

◆ 輸出視頻：VGA

◆ 顯示器：19寸LCD

注：顯微鏡可選