50MC2層流元件
層流元件
Meriam層流元件 (LFE) 非常適合測量 0.2 SCCM 至 2250 SCFM 的低氣體流量。 它們具有固有的準確性和可重復性,并在我們通過 ISO 17025 認證的流量實驗室進行校準,可追溯至 NIST。流量變小為 20:1 或更小,產生的壓差與流量幾乎呈線性關系。這種組合使 LFE 成為氣體流量測量和流量控制應用的。
性能
標準 LFE 校準精度為讀數的±0.72%(不是滿量程的百分比),可追溯至美國國家標準與技術研究院 (NIST)。堅固的結構和無任何活動部件使 LFE 校準穩定。只有物理損壞或元件中的微粒沉積才會導致校準偏移。
標準精度:讀數的 ± 0.72% 至 ± 0.86
重復性:0.1
響應時間:16 毫秒
轉差:20:1 使用精確 DP 設備可實現 20:1 更大轉彎率使用精確 DP 設備可實現
實用性
LFE 可用于測量各種氣體和應用的流量
各種氣體和應用的流速。標準型號可在標準條件下測量小至 0.2 SCCM(5.9 E-06 SCFM)、大至 2250 SCFM 的空氣流量。還可提供 15,000 SCFM 的定制型號。不銹鋼或鋁質材料使 LFE 與大多數氣體兼容。在已知氣體成分百分比和混合物特性的情況下,還可以測量氣體混合物的流量。
LFE 矩陣
LFE 矩陣可由單獨的 SS 管或 SS 箔纏繞而成。相對于內徑而言,這些管子足夠長,可以在每個管子內形成層流。因此,DP 與流速之間的關系接近線性。矩陣上產生的 DP 對流量變化的反應非常迅速。所有 DP 都會對系統造成性壓力損失,但 LFE 的尺寸可在流量條件下產生不超過 8 英寸的水柱。單管直徑非常小,因此流動氣體必須清潔干燥,以保持校準。大多數 LFE 型號都提供過濾式入口,以保持基質清潔和校準恒定。
校準和精度
Meriam LFE 使用空氣進行校準,校準條件為值 29.92" 汞柱 (760mm Hg. Abs.) 和 70oF (21.1oC)。每個完成校準的元件都可溯源至美國國家標準與技術研究院。我們的特殊校準程序 #A-33544 設計用于滿足 MIL-STD-45662A、ANSI Z540、10CFR50 和 MIL-Q-9858A 的基本要求。
Meriam LFE 具有 SCFM 與英寸水壓差的可重現流量曲線。修正系數涵蓋 26 至 36" Hg Abs.的入口壓力范圍和 50oF 至 150oF 的入口溫度范圍。對于特殊流量應用,請聯系 Meriam 并提供完整的流量信息。所有 Meriam LFE 的額定精度*均為實際讀數的百分比,而非其他設備更寬泛的滿量程流量容差百分比
*可提供的精確度等級:
商業校準 | ± 0.72% 實際讀數† |
主校準 | ± 0.64% 實際讀數†† |
獨立實驗室校準 | 實際讀數的 ± 0.50% 或更高、請咨詢 |
†± 0.86% 讀數,滿刻度流量為 1000 SCFM 或更高
††± 0.70% 讀數,滿刻度流量為 1000 SCFM 或更高