
- 電子貨架系統(tǒng)是以射頻識(shí)別(RFID)技術(shù)為基礎(chǔ),提供了易于輸送的解決方案,可在半導(dǎo)體生產(chǎn)線上追蹤每個(gè)晶圓批次。
- 每個(gè)存儲(chǔ)位置都會(huì)與晶圓批次信息自動(dòng)連接,當(dāng)操作人員將某批次晶圓隨意放置在貨架位置上時(shí),專用開關(guān)機(jī)制便會(huì)立即啟動(dòng)RF信息讀入過程。
- 所有數(shù)據(jù)將會(huì)收集于一個(gè)中央數(shù)據(jù)庫(kù)中,方便工作人員在企業(yè)內(nèi)聯(lián)網(wǎng)上任何PC終端機(jī),通過獨(dú)立操作系統(tǒng)的圖示網(wǎng)絡(luò)界面來查詢數(shù)據(jù)。
- 此外,正確存儲(chǔ)位置的LED燈將會(huì)亮著讓操作人員知悉該批次晶圓的實(shí)際位置,亦可根據(jù)存取方式的不同,定制Smarttag E-Rack 和 Barcode E-Rack。
類 別 | 產(chǎn) 品 參 數(shù) |
設(shè)備型號(hào) | E-Rack |
外形尺寸 | L1288xW340xH600 mm(可定制) |
物料種類 | Foup/Cassette/Mask等半導(dǎo)體物料 |
存儲(chǔ)容量 | 可定制 |
使用環(huán)境 | 溫度0-40 ℃ 濕度35-85% |
電源 | 3相 220 V 50 Hz |
RFID規(guī)格 | 發(fā)射頻率134.2 KHZ,感應(yīng)距離R80 mm |
靜電防護(hù) | 防靜電處理材質(zhì)儲(chǔ)位,表面阻值106-1011 Ω 設(shè)備外部結(jié)構(gòu)接地,設(shè)備電源接地 |