比較儀利用相對(duì)法進(jìn)行測(cè)量的長(zhǎng)度測(cè)量工具，主要由測(cè)微儀和比較儀座組成。測(cè)量時(shí)，先用量塊研合組成與被測(cè)基本尺寸相等的量塊組，再用此量塊組使測(cè)微儀指針對(duì)零，然后換上被測(cè)工件，測(cè)微儀指針指示的即為被測(cè)尺寸的偏差值。

用電感式或電容式測(cè)微儀（見(jiàn)長(zhǎng)度傳感器）作為放大、指示部件。數(shù)字顯示電感式比較儀是數(shù)字顯示的電感式比較儀，其分辨率有1微米、0.1微米和0.01微米等幾好種。

利用光學(xué)測(cè)微儀作為放大指示部件。常見(jiàn)的有立式、臥式和影屏式3種。

①立式光學(xué)比較儀：又稱(chēng)立式光學(xué)計(jì)，[光學(xué)測(cè)微儀的光學(xué)系統(tǒng)]為光學(xué)測(cè)微儀的光學(xué)系統(tǒng)。它是按自準(zhǔn)直原理（見(jiàn)自準(zhǔn)直儀）設(shè)計(jì)的。分劃板位于物鏡焦平面上，平面反射鏡按杠桿原理設(shè)置。當(dāng)測(cè)桿上下移動(dòng)時(shí)，平面反射鏡繞支點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)一個(gè)很小角度，由平面反射鏡反射回去的光線(xiàn)，經(jīng)直角棱鏡后成象在分劃板上的刻度尺象發(fā)生偏移。偏移量的大小與測(cè)桿移動(dòng)距離成比例。光學(xué)測(cè)微儀的分度值為1微米，示值范圍為0.1毫米。立式光學(xué)計(jì)適宜在計(jì)量室使用，測(cè)量范圍為0～180毫米，常用于檢定量塊和光滑量規(guī)以及測(cè)量工件的外徑、厚度。

②臥式光學(xué)比較儀：又稱(chēng)臥式光學(xué)計(jì)，其工作原理與立式光學(xué)計(jì)相同，測(cè)量范圍為0～500毫米，適用于在計(jì)量室測(cè)量較大的或在立式光學(xué)計(jì)上不易定位的工件，如圓盤(pán)等，也常利用測(cè)孔附件測(cè)量孔徑。

③影屏式光學(xué)比較儀:又稱(chēng)投影光學(xué)計(jì)，其光學(xué)系統(tǒng)與立式光學(xué)計(jì)相似，但刻度尺影像經(jīng)投影放大透鏡放大后成象于影屏上。分度值有1微米、0.2微米等。分度值為0.2微米的光學(xué)系統(tǒng)采用多次反射以增大光學(xué)杠桿的放大比。此外，還有用光波干涉法測(cè)量的接觸式干涉比較儀，其分度值為0.05微米、0.1微米和0.2微米。