自動(dòng)磁控離子濺射儀

自動(dòng)磁控離子濺射儀

主 要 參 數(shù)
濺射靶頭 低電壓平面磁控濺射 輸入電源 220V/100W（50/60Hz）
主機(jī)尺寸 260（L）×400（D）×365（H） 可用靶材 金、鉑、銀、銅、鈀等
顯示屏 7 英寸彩色觸摸屏 靶材尺寸 φ57×0.12mm（標(biāo)配）
真空室 ~φ130×130（H）mm 真空室材質(zhì) 高強(qiáng)度石英玻璃
真空泵 旋片泵（可選配干泵） 抽速 1.1L/s
真空泵尺寸 445（L）x144（D）x217（H） 真空泵電源 220V/400W（50/60Hz）
真空規(guī) 皮拉尼真空規(guī)管 ji限真空 ≤1Pa
操作方式 一鍵操作（全自動(dòng)） 樣品臺(tái) Φ64mm
工作電流 5-45mA 連續(xù)可調(diào) 工作時(shí)間 1-999s 連續(xù)可調(diào)
保護(hù)功能 過流、真空保護(hù) 工作氣體 空氣/氬氣
連接管路 不銹鋼波紋管 管路規(guī)格 KF16/25—800（L）mm
膜厚儀 可實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)控制鍍膜厚度，設(shè)定范圍 0-999nm，顯示精度 0.1nm
靶材參數(shù) 內(nèi)置 4 種常用靶材工作參數(shù)，同時(shí)預(yù)留 4 組參數(shù)，用戶可自定義使用
其它功能 可記錄靶材使用時(shí)間、儀器運(yùn)行時(shí)間等參數(shù)，方便了解設(shè)備運(yùn)行情況
選配件 行星轉(zhuǎn)臺(tái)、傾斜行星轉(zhuǎn)臺(tái)等