SiGNUM ™ RELM 高精度直線光柵系列產品
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SiGNUM ™RELM
系列產品
光柵尺
• 精度：精度可達每米±1 um，根據標準標定
• 低膨脹系數：因鋼，<1.4 um/m/° C
• 用夾具或背面自帶的特殊配方的不干膠安裝
• IN-TRAC ™光學零位
• RELM：參考零位在光柵尺的中點
• RELE：參考零位距RELE 光柵尺端點20 mm
• 可裝雙光學限位輸出
• 以多種固定長度供應，也可根據客戶的要求提供定制的長度
• 柵尺截面：1.5 mm x 15 mm
SiGNUM™讀數頭和Si細分盒
• 動態信號處理使周期誤差通常小于±40 nm，具有“小柵距”
光柵的性能
• 速度高達12.5 m/s
• 工作溫度達85 ° C
• 多語言SiGNUM ™軟件簡化了安裝過程，通過USB 連接PC
機來提供系統診斷
• 讀數頭和接口上的內置LED 指示燈能夠實現*安裝和系統
診斷
• 用戶可選的AGC 保持1 Vpp 的模擬信號幅度
• 讀數頭密封等級為IP64，接口密封等級為IP30
• 模擬信號輸出，信號周期為20 μm
• 數字信號，分辨率從5 um 到20 nm
• 有三態或差動線驅動的報警信號可選
• 警告和限位可被選為活動 - 高或活動 - 低
• 讀數頭：14.8 mm x 36.0 mm x 16.5 mm （H x L x W）
• 高柔性、UL 認可的電纜 — 在讀數頭和細分盒之間長達10 m

RG2 20 μm 光柵系列
RGH22
• 小巧堅固的外殼
• 內置細分盒和LED 安裝指示燈
• 分辨率從5 μm、1 μm、0.5 μm、0.1 μm 到50 nm
• 參考零位和雙限位開關傳感器
• 16.0 mm x 44.0 mm x 27.0 mm （H x L x W）
RGH24
• 超小型堅固外殼
• 內置細分盒和LED 安裝指示燈
• 分辨率從5 μm、1 μm、0.5 μm、0.1 μm 到50 nm
• 參考零位或單限位開關傳感器
• 14.8 mm x 36.0 mm x 13.5 mm （H x L x W）
RGH25
• 超小型堅固外殼
• 外置細分盒配有LED 安裝指示燈
• 分辨率從5 μm、1 μm、0.5 μm、0.1 μm 到50 nm
• 參考零位或單限位開關傳感器
• 10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm （H x L x W）
• 超高真空系統可選 — 參見第13 頁
RGH25F
• 超高分辨率
• 分辨率有2 μm、50 nm、20 nm 和10 nm 可選
• 參考零位
• 自調節電路提供低周期誤差 （SDE）
• 自動增益控制和自動偏移量控制
• 10.5 mm x 36.0 mm x 13.5 mm （H x L x W）
• 超高真空系統可選 — 參見第13 頁
RGH26
• 與Mitsubishi Melservo® 串行通訊口兼容的讀數頭
• 小巧堅固的外殼
• 內置細分盒和串口轉換
• 分辨率有5 μm、1 μm、0.5 μm 可選（Mitsubishi 串行輸出）
• 參考零位和雙限位開關傳感器
• 16.0 mm x 44.0 mm x 27.0 mm （H x L x W）
RG4 40 μm 光柵系列
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RG4 40 μm
光柵系列
RGH41
• 與RGS40-S 鋼帶光柵兼容
• 小巧堅固的外殼
• 寬松的安裝公差
• 內置細分盒和LED 安裝指示燈
• 分辨率有10 μm、5 μm、2 μm 和1 μm 可選
• 參考零位和雙限位開關傳感器
• 17.0 mm x 44.0 mm x 27.0 mm （H x L x W）
RGH34
• 與RGS40-S 鋼帶光柵和其他40 μm 反射光柵兼容
• 與40 μm 柵距RESR 圓光柵兼容
• 超小、緊湊的讀數頭
• 寬松的安裝公差
• 質量<2g
• 分辨率有10 μm、5 μm、2 μm、1 μm、0.4 μm、0.2 和
0.1 μm 可選
• FPC 電纜
• 參考零位或單限位開關傳感器
• 9.5 mm x 15.0 mm x 15.0 mm （H x L x W）
RGH40
• 讀取RGS40-G 玻璃光柵和40 μm RESR 圓光柵
• 小巧堅固的外殼
• 寬松的安裝公差
• 內置細分盒和LED 安裝指示燈
• 分辨率有10 μm、5 μm、1 μm、0.4 μm 和0.2 μm 可選
• 參考零位和雙限位開關傳感器
• 17.0 mm x 44.0 mm x 27.0 mm （H x L x W）
RGS40-G
• 柵距為40 μm 的鍍鉻刻線玻璃光柵尺
• 從120 mm 到1 m 的一系列可選測量長度
• 熱膨脹系數≈ 8.5 μm/m/° C
• 精度< ±5 μm/m
• 可用金屬夾或可選的粘貼安裝方式
• 與RGH34 和RGH40 讀數頭配合使用

圓光柵系列產品
SiGNUM ™ RESM 20 μm
• 刻劃精度達±0.5 秒
• 分辨率達0.02″
• 重復精度達0.02″
• 一系列直徑和刻線數，從Ø52 mm 到Ø417 mm
• IN-TRAC ™光學零位
• 具有的錐面安裝方式*地降低了安裝誤差，簡化了系統集成
• 截面尺寸10 mm x 10 mm
• 超低轉動慣量內環可供選擇
• 20 μm 柵距
• 與SiGNUM ™ SR 讀數頭兼容
• 讀數頭按IP64 標準密封，如果刻劃表面粘有污漬可通過擦拭的方法
清除
• 周期誤差通常小于±40 nm
• 工作溫度達85 ° C，速度達4500 rev/min
• 多語言SiGNUM ™軟件使安裝簡便，并可實現實時診斷
RESR 20 μm 和40 μm
• 刻劃精度達±0.5 秒
• 分辨率達0.01″
• 重復精度達0.01″
• 一系列直徑和刻線數，從Ø52 mm 到Ø417 mm
• 與UHV 兼容（RESR 和RGH20F）
• 具有的錐面安裝方式*地降低了安裝誤差，簡化了系統集成
• 截面尺寸10 mm x 10 mm
• 超低轉動慣量內環可供選擇
RGH20D SiGNUM™