Monarc 陰極熒光系統性能優點

快速獲取高質量數據

• 以優異的空間分辨率（<10 nm="" 1="" br="">（0.1 nm）采集 CL 數據

• 采集同時具有角度和波長分辨能力的 CL 數據

• 相較前代技術，以高達30倍的更快速度采集超光譜
（hyperspectral）數據

操作簡便

• 通過全自動的光路對準和基于配方驅動的操作，得到優化的結果

• 恒常對準的光路為短期與*工作帶來可重復的結果

• 大視野提高數據采集通量，并簡化用戶的工作流程

與其它信號的精確關聯

• 同時偵測多種信號，對物理性質或成分信息與CL數據進行關聯成像

• 不需折衷妥協——在進行CL測量的同時，充分利用 SEM 的 in-lens探頭

1. 該幅偏振過濾的 CL 圖像證明了 Monarc 能夠提供空間分辨率優于10 nm 的 CL 數據。圖像來自尺寸在 100 nm 左右的星狀金納米顆粒兩組正交線性偏振發光的顏色疊加。

Monarc 陰極熒光系統特色功能

• 角度分辨（angle-resolved CL，ARCL）：在遠低于光學衍射極限的尺度上理解光與物質的交互作用——相較前代技術，400x 更大視野，且不產生實際分辨率損失

• 波長-角度分辨（wavelength- and angle-resolved CL, WARCL）：跨越多重觀察角度與波長，對光與物質的交互作用進行可視化——歸功于*的光路設計，以前無法做到或非常難以實現的表征手段，在 Monarc 上成為常規工作

• 偏振過濾：獲知例如光波段擔任納米天線、光子晶體等深度次波長結構的發光偏振性能

應用領域
• 光電材料研發

• LED 和激光失效分析

• 顯示與照明

• 光-物質交互作用基礎研究

• 納米光子學

• 光子晶體

• 地質科學-痕量元素分布

• 光伏材料表征

• 熒光技術

Monarc 配備兩種不同型號，滿足不同應用需求：

Monarc
適合于地質科學與面分布成像應用，Monarc 型號擁有不受譜分辨率影響的更大視野，并通過其新穎的波長過濾譜成像能力，提供更高空間采樣的超光譜數據采集，性能大大超越基于前代技術的 SEM CL 探測器。

Monarc Pro
對于納米光子學與光電子材料應用，Monarc Pro 更為適用，由于其提供了更高的靈敏度與譜分辨率；并具備*的波長-角度分辨分析能力以及偏振過濾選項。