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GM-8三座標非接觸測量顯微鏡
本儀器所使用的影像測量技術、圖像處理技術、 自動調焦技術、亞象素尋邊技術測量分析軟件*提高測量精度和測量效率。儀器光學系統品質優良，物鏡成像清晰，倍率廣泛。提供物體輪廓（透射）和表面（反射）同軸照明，保證物體影像清晰。導軌、絲杠、光柵尺、電機等關鍵部件全部選用國外，保證系統的高質量和高可靠性。
自動識辨物體焦面位置和自動尋找物體亞象素邊界。優質運動控制器和圖像傳感器，保證高品質圖像質量和工作臺的低噪音平穩運動。 X、Y、Z軸全部電機閉環控制運動，Z軸裝有粗微調焦手輪調節以適應測量工件高度要求。多種形位尺寸（幾何元素）測量，點、線、面、圓、橢圓、球面及其幾何元素間的關系，圓度、球度、平面度等形狀公差，平行度、垂直度等位置公差。平面定義與自動三維采點測量，按國標GB11337-98的各種方法自動進行平面度誤差檢測。提供測量編程指令，具有自學習編程功能，自動批量快速測量，大大提高檢測效率。
人性化方便的運動控制和多種方式的測量功能，編程和自學習，成倍提高測量效率。系統提供多達20個機械坐標和工件坐標。無需轉臺，實時非接觸測量物體的高度、距離、角度等參數。無需傾斜臺，對物體基準面進行數學找正，避免物理找正的煩瑣。提供強大的數理統計分析和數據庫功能：統計參數計算，正態、歷史、直方圖、X2、T、F分布，X2、T、F檢驗，單因素方差分析和相關性檢驗等。輸出結果形式多樣，可被WORD,EXCELL,AUTOCAD等應用軟件使用。幾何形狀測量與構造實時圖形的直觀顯示，利于測量檢查。提供在線幫助功能，操作簡便，易學易用。
技術參數
| 工作臺行程 | 標配：X=150mm, Y=150mm, Z=100mm |
| 選配：X: 100mm～400mm;Y: 100mm～200mm;Z: 100mm-150mm | |
| 光學尺分辨率 | 標配：0.001mm閉式; 選配：0.0005mm閉式,0.0001mm開式 |
| 重復定位精度 | X,Y,Z: ≤0.0015mm |
| 重復調焦精度（倍率大于150X） | ≤0.0015mm |
| 系統不確定度 | 分辨率為0.001mm時：X,Y: （3.0+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm |
| 分辨率為0.0005mm時：X,Y: （1.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm | |
| 分辨率為0.0001mm時：X,Y: （0.5+2×L/400）/1000 （mm）,Z≤0.005mm |
儀器配置
| 部件名稱 | 規格（標配） | 選件 | 備注 | ||
| CCD工業攝像頭 | 彩色CCD（1/2”） | 黑白CCD（1/2”） | 復合或標準視頻 | ||
| 工業顯微鏡 | 連續變倍：1:10 1.5X物鏡 （50～500X） | 連續變倍：0.7-4.5X; 工業內照明高倍率長工作距顯微鏡，物鏡倍率：3X～100X | C-Mount接口 | ||
| 計算機系統 | 商用PC，98/2000/XP | 工業控制機 ,彩色噴墨打印機 | | ||
| 測量控制軟件 | TDYMS V60CNC | | | ||
| 底座 | 花崗石00級 | | | ||
| 照明光源 | 透 6V20W，反21V150W可調鹵素燈 | 外接照明 | | ||
| 工作臺行程 （測量范圍） | X:150mm,Y:150mm，Z:100mm | X:100-400mm，Y:100-200mm Z:100-200mm | Z軸帶有粗微調機構,以滿足不同高度工件的測量 （80mm 范圍） | ||
| 驅動方式 | X、Y、Z：CNC電動 | JOG控制盒 | | ||
| 驅動電機 | 三相步進電機 | 伺服電機 | | ||
