場發射掃描電子顯微鏡Thermo Scientific 配備能譜儀和冷臺。掃描電鏡和能譜儀，可用于測試各種材料，如金屬材料、高分子材料、無機材料（礦物、巖土、甚至含水分材料）等的樣品表面二次電子形貌信息，背散射電子組分區分，能譜元素成分分析。結合冷臺，可通過控制樣品室內溫度和濕度，模擬環境測試樣品在動態環境中的形貌和組分變化，并記錄這些變化的過程。

場發射掃描電子顯微鏡Thermo Scientific 

1       電子光學：

1.1   發射源：高分辨肖特基場發射電子槍。

1.2   加速電壓：200V – 30kV。

*1.3 放大倍數：6× - 2,500,000×。

*1.4 電鏡內設計有壓差真空系統，保護低真空/環境真空下電子槍，延長壽命。

*1.5 大的電子束束流：1pA -200nA連續可調，保證能譜高效工作。

2       真空系統：

2.1   1個250 l/s分子渦輪泵+1個機械泵+2個離子泵

2.2 集成的離子泵備用電池（用于意外斷電保護）

2.2   高真空模式：＜6×10-4 Pa （測試導電樣品或噴金處理樣品）

*2.3 低真空模式：10 – 200 Pa （直接測試不導電樣品）

*2.4 環境真空模式：10 – 4000 Pa （測試含水分樣品）

*2.5 高真空模式下的換樣時間：≤3.5min

*2.6 環境真空模式下的換樣時間：≤4.5min
 

3       分辨率：

獨立的高真空探測器，分辨率指標

3.1   高真空分辨率30 kV下1.0 nm (二次電子)

*3.2 高真空分辨率30 kV下2.5 nm (背散射電子)

3.3 高真空分辨率1 kV下3.0 nm (二次電子)

獨立的低真空探測器

*3.4 低真空分辨率30 kV下1.3 nm (二次電子)

*3.5 低真空分辨率30 kV下2.5 nm (背散射電子)

3.6 低真空分辨率3 kV下3.0 nm (背散射電子)

獨立環境真空探測器

*3.7環境真空分辨率30 kV下1.3 nm (二次電子)