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MMA 全自動工具測量顯微鏡采用NIKON原裝傾斜式三目鏡筒，五段變倍鼻輪（可選自動變倍鼻輪）。提供超高清晰度測量畫面，配以0.0001mm分辨率金屬光柵實現更高的測量精度，同時Z軸采用新進的圖像處理方式實現Z軸精準對焦測高，10X及以上物鏡對焦重復性≤0.002mm，100X物鏡對焦重復性≤0.001mm。
適用于半導體封裝、焊接貼片、環路高度、FPD面板（LCM）、晶片級CSP等領域。
MMA 全自動工具測量顯微鏡
升級擴展選項：
A、DIC微分干涉模塊；
B、熒光模塊。
機型參數：
| 儀器型號/儀器參數 | MMA300CNC | MMA400CNC | MMA500CNC | |
| 儀器重量/kg | 230 | 400 | 540 | |
| 外型尺寸L*W*H | 770*660*970 | 980*790*990 | 1280*855*1050 | |
| 測量范圍(mm) | X | 300 | 400 | 500 |
| Y | 200 | 300 | 400 | |
| Z | 150 | 150 | 150 | |
| 工作臺(mm) | 大理石臺面 | 487×367 | 606×476 | 786×610 |
| 玻璃臺面 | 345×245 | 445×345 | 545*445 | |
| 承重 | 20kg | 30kg | 30kg | |
| 影像及測量系統 | CCD | 德國映美精1/3"彩色CCD，130萬像素 | ||
| 光學頭 | 日本尼康原裝傾斜三目鏡筒+五段變倍鼻輪（可選自動變倍鼻輪） | |||
| 目鏡 | CFI 10X | |||
| 物鏡 | 5X、10X、20X、50X、100X（倍率可選） | |||
| 光柵尺分辨率 | 0.0001mm | |||
| 測量精度(um) | X、Y線性精度：1.6+L/200 X-Y矢量精度：2+L/200 Z軸對焦精度≤0.002mm（10X及以上物鏡） | |||
| 照明光源 | LED同軸落射光源+LED平行透射光源 | |||
| 工作電源 | 220v±10%（AC） 50Hz （注：需有電阻≤4Ω接地線） | |||
| 工作環境 | 溫度：18~24℃、相對濕度：30~75%、遠離振源 | |||
備注：特殊配置機型不在此列
