潔凈廠房噪聲、振動控制

    潔凈廠房動態測試時，潔凈室內的噪聲級不應超過70分貝A。而空態測試時，亂流潔凈室的噪聲級不宜大于60分貝A；層流潔凈室的噪聲級不應大于65分貝A。還有要注意的是：1、由于技術經濟條件限制，或噪聲大于70分貝A對生產無影響時，噪聲級可適當放寬，但不宜大于75分貝A；2、上述噪聲級是指在室內每一個工作點人耳位置（人離開）的測量值。對于變動噪聲，則取相同位置處在一個正常工作日內的等效連續聲壓級。并應與精密設備、精密儀器儀表允許環境振動值進行分析比較。

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    潔凈廠房和周圍輔助性站房內由強烈振動的設備及其通往潔凈室的管道，應采取積極的隔震措施；綜合振動影響應與精密設備、精儀器儀表的允許環境振動值進行比較，以確定對其菜取必要的隔振措施。

    潔凈廠房主體結構的耐久性與室內裝備和裝修水平相協調，并應具有防火、控制溫度變形和不均勻沉陷的性能（地震區應符合抗震設計規定）；廠房變形縫應避免穿過潔凈區；送、回風管和其他管線需暗敷時，應設置技術夾層、技術夾道或地溝等；穿越極層的豎向管線需暗敷時，宜設置技術豎井；對兼有一般生產和潔凈生產的綜合性廠房，其方案設計和構造的處理，應避免在人流與物流運輸以及防火方面對潔凈生產帶來不利影響；潔凈廠房內應設置人員凈化、物料凈化用室和設施，并應根據需要設置生活用室和其他用室，物料凈化用室的布置，應防止凈化后物料在傳遞過程中污染。