系列簡介

在很多超純氣應用，諸如半導體工業中，氣體中殘余的濕氣對于過程處理的正常運作至關重要。一直以來，對濕氣的持續追蹤測量都是個難點，需要用到復雜的濕度分析儀或者昂貴的分析技術。然而密析爾儀表目前則向市場推出了簡單的、經濟的、相當有效的方案，用來在線測量露點值，下限低至驚人的-120°C (相當于不到 1 ppb_V)。

Pura 變送器是基于密析爾儀表多年在阻抗露點傳感器生產和校驗的專業經驗，結合標準工業化的材料和制造流程，打造出的*適用于半導體制造行業和超純氣體應用的低價位變送器。

亮點

• 測量下限 -120°C 露點 (1 ppb_V)
• 測量穩定，重復性好
• 高度集成的采樣裝置
• 模擬和數字輸出
• 安裝簡便
• VCR 過程接口
• 設計緊湊小巧
• 顯示/報警單元可選

技術指標

傳感器

傳感器類型

密析爾陶瓷濕度傳感器

量程

-120 ~ -40°C 露點 (校驗到 -100 ~ -40°C)

精度

±1°C   -40 ~ -60°C;

±2°C   -61 ~ -100°C;

±4°C   -101 ~ -120°C (估算值)

分辨率

0.1°C        -40 ~ -79.9°C;

1°C           -80 ~ -100°C;

1 ~ 3°C    -100 ~ -120°C

壓力

zui低 10-9 torr; zui大 24 MPa

氣體流量

1 ~ 5 Nl/min

電氣

電源

通常 24 V DC, zui低10 V ~ zui高28 V , zui大電流 25 mA

輸出

4-20 mA 輸出, 對應范圍可由專用軟件調整, 調整量程從 1 ~ 80°C (標配提供)

zui大負載 = 100 Ω + 50 Ω x (V 電源 -8)

輸出出錯狀態

標準輸出出錯信息如下: 23 mA = 傳感器故障; 20 mA = 超上限; 4 mA = 超下限

機械性能

傳感器套筒

不銹鋼, 0.1-0.2 Ra µm 電鍍內拋光

氣路連接端口

Premium 或 OEM 型: ¼" m VCR 接口

Pura Sensor 型: ½" m VCR 接口

安裝配置

Premium 或 OEM 型: 120.00mm 長, 氣路端口的端面密封. 無需預留管路空隙

底座上有 2 個 M4 x 0.7, 7mm 深的安裝孔, 斜對面橫豎間距均為 20 x 20mm

Pura Sensor 型: 適用于用戶提供的 ½" VCR 端口中

尺寸

Premium 或 OEM 型: 120 x 35 x 150mm

Pura Sensor 型: 132 x 35mm

重量

Premium 或 OEM 型: 450g

Pura Sensor 型: 180g

包裝

Pura: 雙層包裝, 惰性氣體填充密封

Pura OEM 或 Pura Sensor 型: 單層包裝

所有選配件: 獨立包裝運輸

Sensor 型在傳感芯片端自帶保護套,用以運輸及操作