SEC-Z500X多范圍/多氣體數(shù)字式質(zhì)量流量控制器

多范圍/多氣體的數(shù)字式質(zhì)量流量控制器 SEC-Z500X
提供多氣體，多量的解決方案，是一的氣體質(zhì)量流量控制器。高精度，快速響應(yīng)，輕巧的尺寸。全金屬
概要
HORIBA銷售量的數(shù)字式氣體質(zhì)量流量控制器，包含多氣體/多量程功能以實現(xiàn)自由快速更改氣體種類或滿量程。
壓電陶瓷閥實現(xiàn)高精度± 1.0% S.P.，快速響應(yīng)，有效提高良率及簡化備件管理。
特征
高精度±1.0% S.P.
HORIBA MFC包含多項式近似曲線實現(xiàn)線性補(bǔ)償。此功能實現(xiàn)所有量程上的高精度。為了更真實的反應(yīng)實際氣體精度，HORIBA STEC監(jiān)測了不同的工藝氣體并創(chuàng)建了針對不同氣體的校正數(shù)據(jù)，建立標(biāo)準(zhǔn)氣體管理系統(tǒng)，實現(xiàn)真實氣體精度確認(rèn)。
高速響應(yīng)
裝載“變量PID系統(tǒng)"可實現(xiàn)兩設(shè)定點之間1秒內(nèi)快速響應(yīng)。變量PID基于流量設(shè)定點而持續(xù)變化。即使?jié)M量程或氣體更改，也能不會影響PID功能。
多氣體，多量程解決方案
HORIBA的配置軟件可簡單快速的更改MFC的規(guī)格。更好的是MFC的規(guī)格改變不需從設(shè)備端拆卸。此舉有效減少MFC庫存需求，極大減少時間和成本的浪費。
制造: HORIBA STEC