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大氣機械手
詳細摘要:晶圓搬運系列大氣機械手主要應用于半導體加工過程中,是負責大氣端不同工位間晶圓傳送的關鍵自動化設備。本系列采用輕量、高剛性手臂、高精度、高性能的AC伺服電機和諧波減速器,可實現高速平穩的運行。
產品型號:所在地: 參考價:面議

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