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PT-5SMT 石英射頻等離子清洗機

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更新時間：2024-09-11 08:46:42瀏覽次數：95次

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深圳市三和波達機電設備有限公司

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產品簡介

簡介：國產等離子清洗機廠家三和波達等離子清洗裝置小型的等離子清洗器

詳細介紹

PT-5SMT
腔體材質：石英耐熱玻璃
供電電源： AC220V
工作電流：整機工作電流不大于1.2A(不含真空泵)
射頻電源功率： 0-200W / 0-300W可調（射頻匹配一體）
射頻頻率： 13.56MHz
頻率偏移量：小于0.2KHz
特性阻抗： 50歐姆，自動匹配
真空度： 1pa-30Pa
氣體路數：雙路氣體輸入（高精密浮子流量計）
氣體流量： 10—160ml/min(可調)
過程控制： PLC人機界面自動與手動方式
清洗時間： 1-9999秒鐘可調
功率大小 10%-100可調
內腔尺寸 Φ150×270Lmm 5L
外形尺寸： 560×540×550mm L×W×H
真空泵：飛越真空泵VRD-4 （含油霧過濾器）
真空室溫度：小于30°C

冷卻方式：強制風冷