一、產品介紹

 導電與防靜電體積表面電阻率測試儀在測量導電材料電阻率若采用三電極或二電極測量時會因為電極與被測量材料表面電阻而影響測量性，本裝置采用四電極(四點探針或四探針)法測量導電和防靜電材料體積電阻率，可以克服表面接觸電阻造成的誤差影響。其測量度不會像采用三電極或二電極測量因表面接觸電阻而增大測量誤差，特別是在測量導電材料時，這種影響更明顯，所以采用四電極測量時度很高，Huace991導電和防靜電材料體積電阻率測量裝置，配合輸入電阻高達10¹⁴Ω的Huace103（FS3)靜電計和測量超微弱電流(飛安10^-15A)的Huace122皮安電流表，采用標準的四電極，可以測量測量20個數量級范圍的電阻率，其測量范圍：10^-9Ω.m～10¹¹Ω.m (世界上超寬測量范圍，達20個數量級）。

二、產品優勢

 導電與防靜電體積表面電阻率測試儀

1、2kV浮動電路

 HC浮動電路與三軸連接器組合使用可有效增強對電源干擾或外來干擾的穩定性(重復精度)大幅提升。普通的使用環境的偏差為0.007%(代表值)與以往機型相比減少至1/60。

2、16mm 大口徑三軸連接器

 電流輸入端口采用大口徑三軸連接器，是將內部屏蔽連接至 GUARD(COM)線，外部屏蔽連接至 GROUND的 3 層同軸設計。兼顧抗干擾的穩定性和高壓檢查時的安全性。

三、配合材料和用途的多種電極

 體積電阻測量用電極 Huace9001可以直接測量片狀、 薄膜、板狀的產品以及材料的體積電阻率

1、電阻率的測量

 在測量導電材料電阻率若采用三電極或二電極測量時會因為電極與被測量材料表面電阻而影響測量性，本裝置采用四電極(四點探針或四探針)法測量導電和防靜電材料體積電阻率，可以克服表面接觸電阻造成的誤差影響，Huace991系列配備可提供超穩定直流電源與高的精度電流采集系統，可測量半導體、導體材料的體積電阻率。

1矩形內的組成對地絕緣電阻大于10¹²Ω
2、供電電極
3、電位電極
Rn已知電阻

2、平板測試用電極 SME-8311

采用GB或ASTM測試方法進行的計算，可以確定材料的體積電阻率式中
ρV =體積電阻率歐姆厘米(Ω)；
V=電位電極（B-B′）或為電流通過試樣（A-A'）的電位差(V)；
W =試樣寬度(cm)；
d =試樣厚度（cm）；
I=電流的平均值(A)；
L=與試樣接觸的兩個電位電極之間的距離（cm）。

四、一般參數

1、基本參數

精度參數（精度保證期1年，調整后精度保證期1年）

2、技術參數

（1）測量范圍：10^-9Ω.m ～10¹¹Ω.m （*另配測試三電極和電源，可以測量體積電阻率達1019Ω.m）
（2）度：1%
（3）靜電電壓：100mV～±200V，輸入電阻≥10¹⁴Ω(100TΩ)，0.5%
（4）電流：1×10^-15A (飛安fA), 0.5%
（5）電壓源：0-100V
（6）測試屏蔽箱
（7）絕緣板：　≥100TΩ.m (10¹⁴Ω.m)