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北京漢達森機械技術有限公司
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德國PI P-363 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀
P-363 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀
用于掃描探針顯微鏡的高動態納米定位系統
P-363
PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀
§ 用于AFM / SPM的超高性能閉環掃描儀
§ 用于生物/納米技術的緊湊型操縱工具
§ 諧振頻率9.8千赫茲
§ 電容式傳感器可實現zui高精度
§ 并聯測量技術可實現導向誤差的自動化 補償
§ 分辨率50皮米
§ 行程5微米×5微米×5微米
§ 真空兼容版本
應用領域
§ 掃描探針顯微鏡
§ 原子力顯微鏡
§ 掃描和篩選
帶電容式傳感器，實現亞納米分辨率
電容式傳感器以亞納米分辨率進行測量，且無接觸。它們可確保優異的運動線性、*穩定性和千赫茲范圍的帶寬。
零間隙柔性鉸鏈導向帶來高導向精度
柔性鉸鏈導向無需維護、無摩擦、無磨損，無需潤滑。它們的剛性可實現高負載能力，且它們對沖擊和振動不敏感。 它們*真空兼容，可在很廣的溫度范圍內工作。
自動配置和快速部件更換
機械部件和控制器可按需組合、快速更換。所有伺服和線性化參數均存儲在機械部件的SubD連接器的ID芯片中。每當控制器啟動時，數字控制器的自動校準功能就會使用這些數據。
并聯位置測量實現納米級的高跟蹤精度
各自由度均相對于單一固定參考進行了測量。對其他軸的不良運動串擾均可得到實時主動補償（取決于帶寬）（主動 導向）。即使在動態操作中，跟蹤精度也可高達納米級。
適用于復雜真空應用
壓電陶瓷系統中使用的所有部件均非常適合于在真空中使用。操作無需潤滑劑或潤滑脂。無聚合物的壓電陶瓷系統可 實現極低的排氣率。
規格
P-363.3CD P-363.2CD 單位
主動軸 X、Y、Z X, Y
運動和定位
集成傳感器 電容式 電容式
-250至+250伏時X、Y向上的開環行程 ±3 ±3 微米
-250至+250伏時Z向上的開環行程 ±2.7 - 微米
X、Y向上的閉環行程 ±2.5 ±2.5 微米
Z向上的閉環行程 ±2.5 - 微米
分辨率，開環* 0.03 0.03 納米
分辨率，閉環 0.1 0.1 納米
線性誤差 0.05 0.05 %
重復精度** 1 1 納米
X、Y向上的螺距/偏轉角 0.5 0.5 微弧度
Z向運動時的傾斜 0.2 - 微弧度
X、Y向上的直線度 3 3 納米
X、Y向上的串擾（Z向運動） 5 - 納米
機械特性
X、Y向上的空載諧振頻率 3.1 4.2 千赫茲
Z向上的空載諧振頻率 9.8 - 千赫茲
帶負載時X、Y向上的諧振頻率 1.5 (20 克) 2.1 (20 克) 千赫茲
負載容量 10 10 牛
陶瓷類型 PICA, PICA Shear PICA Shear
其他 工作溫度范圍 -20 到 80 -20 到 80 °C
材料 鈦金屬 鈦金屬
尺寸 30 毫米 × 30 毫米 × 40 毫米
30 毫米 × 30 毫米 × 28 毫米
質量 225 190 克
電纜長度 1.5 1.5 米
傳感器/電壓連接 Sub-D24W7（公頭） Sub-D24W7（公頭）
*電控 E-536 E-536
訂購信息
P-363.2CD PicoCube高精度XY向納米定位系統，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器
P-363.2CL PicoCube高精度XY向納米定位系統，5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器
P-363.3CD PicoCube高精度XYZ向納米定位系統，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，Sub-D連接器
P-363.3CL PicoCube高精度XYZ向納米定位系統，5微米 × 5微米 × 5微米，平行計量，電容傳感器，LEMO連接器
德國PI P-363 PicoCubeXY(Z)壓電掃描儀
