詳細描述：3BSE014452R1
控制系統出于安全考慮要實現一系列聯動互鎖，對于極度危險的事件需停止設備供電；一般事件需將設備返回到安全狀態――氮氣吹掃，切斷源供應，關閉加熱器；輕微事件則報警并阻止任何一個危險性狀態的發生，例如阻止加熱器在沒有冷卻水流動的情況下被打開。本控制系統提供了一系列報警，如排風系統故障報警、氣動執行壓力過低報警、加熱器故障報警、反應腔壓力過高報警、反應腔溫度過高報警、反應腔泄漏報警、冷卻水流量過低報警、手套箱氨氣濃度過高報警、設備門沒有關閉報警、過濾器失效報警、電源電壓過低報警等等，并針對不同的報警產生不同的動作以提醒工藝人員：觸摸屏上狀態顯示、紅色指示燈閃爍、蜂鳴聲響。
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