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廣州明柏儀器儀表有限公司
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產品簡介
產品介紹
MF5000微型熱式氣體質量流量計 MEMS微機電流量傳感器
產品簡介：
MF5000微型氣體質量流量計采用是（MEMS）流量傳感器芯片技術和計算機自適應技術歷經多年，開發出的智能化全電子式氣體質量流量儀表，主要技術性能處于水平，具有高靈敏度、高精度、大量程比等特點；針對工業環境，融合了多種抗干擾措施的電磁兼容設計；且具有多種信號輸出，能通過通訊接口實現網絡管理功能；本產品在性能、安裝和維護方面也具有其*的*性，可廣泛應用于石油、燃氣、化工、冶煉、能源等各個領域。
產品特點：
- 采用微機電系統芯片加工技術和大規模集成電路的生產技術及材料生長技術，傳感器的尺寸縮小到了微米量級，使該流量計的靈敏度大大提高。
- 在單個芯片上實現了多傳感器集成，使該流量計的量程比（范圍度）大大提高。
- 傳感器零點穩定度較之傳統熱式質量流量計有*的改善。
- 結合二次儀表的微電腦智能技術，使流量計重復性好，實現了計量準確可靠。
- 技術進步帶來的結構簡化，使流量計較之傳統的機械式儀表，壓力損失大幅度減小，*地降低了能源消耗。
- 采用LCD顯示"瞬時流量"和"累計流量"，清晰直觀，讀數方便。
- 產品融合了電磁兼容設計技術，具有更高抗*力。
- 流量計帶有RS485通訊模塊，配合上位計算機網絡可實現集中管理。
- 可以選配4～20mA標準電流信號輸出。
型號 通徑（mm） 接口（inch） L H W d a b c
MF5003 3 1/8" 85 124 35 Φ3 25 16 50
MF5006 6 1/4" 95 127 35 Φ6 25 18 50
MF5008 8 3/8" 105 134 35 Φ8 25 22 50
MF5012 12 1/2" 116 137 40 Φ12 30 25 50
MF5019 19 3/4" 152 149 40 Φ19 30 40 70
技術參數：微型熱式氣體質量流量計 MEMS流量儀表明柏
精確度 ±(1.5+0.2FS)%
測量范圍 0.01~65m/sec
測量管徑 1~19 mm
使用環境 溫度: -20~65
顯 示 瞬時流量; 累計流量
輸出模式 4~20mA; RS485; RS232; 0~5V; 脈沖
校準條件 20oC; 101.325 kPa.
產品選型：微型熱式氣體質量流量計 MEMS流量儀表明柏
型號通徑(mm)接口(inch)工作壓力(MPa) 測量范圍
sccm SLPM SCFM NCMH
MF5003 3 1/8" 3.0 15-1500 0.15-15
MF5006 6 1/4" 3.0 0.5-50 0.02-2 0.035-3.5
MF5008 8 3/8" 3.0 1.2-120 0.045-4.5 0.075-7.5
MF5012 12 1/2" 3.0 3-300 0.1-10 0.17-17
MF5019 19 3/4" 3.0 8-800 0.28-28 0.48-48
